ПЖТФ, 2009, том 35, выпуск 3

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Исследование модификации свойств анодных оксидных пленок переходных металлов при ионно-плазменном воздействии

А.Б.Черемисин, А.А.Величко, А.Л.Пергамент,
В.В.Путролайнен, Г.Б.Стефанович

Петрозаводский государственный университет
E-mail: alexiii1982@mail.ru, velichko@psu.karelia.ru

В окончательной редакции 26 августа 2008 г.

Было исследовано взаимодействие плазмы высокочастотного емкостного разряда (13.56 MHz) в аргоне с тонкими пленками аморфных оксидов ванадия и ниобия, выращенных методом электрохимического оксисления в электролите. На основе рентгеноструктурного анализа, спектрофотометрических и электрофизических измерений показано, что в результате плазменной обработки происходит модификация электрических (рост электронной проводимости), структурных (кристаллизация) и оптических (изменение оптической плотности в коротковолновой области спектра) свойств оксидов.

PACS: 52.40.Hf, 52.77.-j, 52.77.Dq, 72.80.Ga

 PDF версия (1.3Mb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2009, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster