ПЖТФ, 2008, том 34, выпуск 21

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Газофазная эпитаксия нитрида алюминия из триметилалюминия и молекулярного азота

В.В.Лундин, Е.Е.Заварин, М.А.Синицын, М.А.Яговкина,
А.Ф.Цацульников

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург
E-mail: lundin.vpegroup@mail.ioffe.ru

Поступило в Редакцию 7 апреля 2008 г.

Исследован пиролиз триметилалюминия в реакторе газофазной эпитаксиальной установки в азот-содержащей атмосфере. Показано, что при наличии нитрид-галлиевых покрытий в реакторе продуктом пиролиза триметилалюминия в азот-водородной атмосфере является нитрид алюминия. Данным методом (без введения аммиака в реактор) выращены совершенные эпитаксиальные слои нитрида алюминия.

PACS: 81.05.Ea, 81.05.Hd, 81.05.Je, 81.10.Bk, 82.33.Ya, 68.55.ag

 PDF версия (722Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2008, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster