ПЖТФ, 2007, том 33, выпуск 22

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Новый метод определения эффективности конверсии лазерного излучения в диапазоне длин волн 13.5± 0.3 nm для источников на основе лазерной плазмы

И.В.Домрачева, М.В.Петренко, З.А.Степанова,
Г.К.Тумакаев, С.В.Бобашев

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, С.-Петербург
E-mail: inga.domracheva@mail.ioffe.ru

Поступило в Редакцию 16 марта 2007 г.

Проведены эксперименты по регистрации дальнего вакуумного ультрафиолетового излучения (Extreme UltraViolet, далее EUV) от газоструйного источника, использующего в качестве мишени сверхзвуковую струю ксенона. Измерены зависимости энергии EUV излучения от энергии лазерного импульса на сверхзвуковой струе ксенона, а также на металлических мишенях (Cu, Mo, Ta). На основании полученных результатов предложен новый метод определения эффективности конверсии лазерного излучения в EUV диапазон, позволяющий однозначно характеризовать свойства мишеней различных материалов. Обсуждаются пути оптимизации газоструйного ксенонового источника.

PACS: 52.38-r.

 PDF версия (149Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2007, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster