ПЖТФ, 2007, том 33, выпуск 14

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Влияние электрического поля
на рост наноуглеродных структур
из газовой фазы

Ал.А.Захидов, О.А.Клименко, И.А.Попов,
А.А.Золотухин, А.Н.Образцов

Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова
E-mail: obraz@polly.phys.msu.ru

Поcтупило в Редакцию 29 ноября 2006 г.

С целью определения величины электрического поля у поверхности подложки в процессе роста углеродных наноструктур построена математическая модель плазмы газового разряда постоянного тока. Численное решение полученных уравнений производится с учетом граничных условий и параметров, определенных из эксперимента. Сравнение полученных решений с экспериментальными данными показывает адекватность построенной математической модели, в рамках которой получены распределения величины электрического поля, а также концентрации электронов и ионов в области, примыкающей к поверхности подложки. Произведенная оценка показывает, что при достижении наноуглеродными структурами критического размера около 30 nm величина электрического поля у поверхности оказывается достаточной для возникновения их направленного роста вдоль поля.

PACS: 52.65.Kj, 52.77.Dq, 81.15.Jj

 PDF версия (143Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2007, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster