Установлено, что электропроводность образцов описывается законом Пула--Френкеля. Методом высокочастотных вольт-емкостных характеристик определены удельная емкость диэлектрика $C$₀=0.027-0.03 мкФ/см$2$, крутизна вольт-емкостной характеристики $dC/dV=35-40$ пФ/В, фиксированный заряд в диэлектрике $Q$_ф=(1.7-2.7)· 10^-8 Кл/см$2$, плотность поверхностных состояний при потенциале плоских зон $N$_ss=(1-2)· 10¹¹ см^-2· эВ^-1. Установлено, что коэффициент перекрытия емкости в металл--диэлектрик--полупроводник-варикапах составлял 2.5--3.

Показана перспективность использования исследованных структур в качестве металл--диэлектрик--полупроводник-варикапов с малыми управляющими напряжениями и высокой добротностью.