Путем периодического изменения содержания кислорода в составе рабочего газа в процессе высокочастотного магнетронного распыления мишени на основе In₂O₃ с добавкой 10 wt.% ZnO (IZO) получены тонкопленочные прозрачные периодические структуры высокой проводимости с градиентной модуляцией содержания кислорода по толщине. Исследована температурная стабильность электрических характеристик полученных структур при отжигах в вакууме и открытой атмосфере. Установлено, что в результате обоих отжигов сопротивление структуры растет. Показано, что при атмосферном отжиге рост сопротивления происходит преимущественно за счет снижения концентрации свободных электронов, обусловленного нейтрализацией вакансионных донорных центров атмосферным кислородом, а при вакуумном отжиге - за счет снижения их подвижности, обусловленного разрушением модулированной структуры пленки. Ключевые слова: магнетронное распыление, оксид индия, оксид цинка, тонкопленочная периодическая структура, градиентная модуляция, электрическое сопротивление.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.