Вышедшие номера
Формирование слоев GaAs с наночастицами Ag методом ионной имплантации
Степанов А.Л. 1, Рогов А.М.1, Коновалов Д.А.1
1Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского, ФИЦ Казанский научный центр РАН, Казань, Россия
Email: aanstep@gmail.com
Поступила в редакцию: 12 февраля 2024 г.
В окончательной редакции: 9 марта 2024 г.
Принята к печати: 9 марта 2024 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2024 г.

Исследована возможность создания композиционного материала на основе GaAs, содержащего наночастицы Ag, с помощью технологии ионной имплантации. Для этого проведено облучение слоев GaAs ионами Ag+ c энергией E=30 keV при плотности тока в ионном пучке J=5 μA/cm2 и дозе D=6.2· 1016 ion/cm2. Для анализа полученного материала использованы методы электронной микроскопии и спектроскопии оптического отражения. Экспериментальные спектры сопоставлялись с расчетными зависимостями оптической экстинкции, полученными в рамках электромагнитной теории Ми. Установлено образование наночастиц Ag размером от 5 до 40 nm в слое GaAs, демонстрирующих эффекты плазмонного резонанса. Ключевые слова: арсенид галлия, ионная имплантация, наночастицы серебра, плазмоника.
  1. А.Л. Степанов, В.И. Нуждин, А.М. Рогов, В.В. Воробьев, Формирование слоев пористого кремния и германия с металлическими наночастиами (ФИЦПРЕСС, Казань, 2019)
  2. A. Jangjoy, H. Bahador, H. Heidarzadeh, Plasmonics, 16, 395 (2021). DOI: 10.1007/s11468-020-01297-2
  3. V.L. Berkovits, V.A. Kosobukin, V.P. Ulin, P.A. Alekseev, B.R. Borodin, F.Y. Soldatenkov, A.V. Nashchekin, S.A. Khakhulin, O.S. Komkov, Surf. Sci., 742, 122437 (2024). DOI: 10.1016/j.susc.2023.122437
  4. B. Wei, X. Mao, W. Liu, C. Ji, G. Yang, Y. Bao, X. Chen, F. Yang, X. Wang, Plasmonics, 18, 2009 (2023). DOI: 10.1007/s11468-023-01902-0
  5. Y. Xu, Y.-S. Qian, J.-L. Qiao, D.-Y. Huang, S.-B. Cui, Int. J. Electrochem. Sci., 17, 22024 (2022). DOI: 10.20964/2022.02.11
  6. A. Salehi, D.J. Kalantari, Sensors Actuators B, 122, 69 (2007). DOI: 10.1016/j.snb.2006.05.004
  7. H. Murakami, T. Takarada, M. Tonouchi, Photon. Res., 8, 1448 (2020). DOI: 10.1364/PRJ.395517
  8. A.M. Sharafutdinova, A.V. Pavlikov, A.M. Rogov, S.N. Bokova-Sirosh, E.D. Obraztsova, A.L. Stepanov, J. Raman Spectrosc., 53, 1055 (2022). DOI: 10.1002/jrs.6332
  9. I.M. Klimovich, A.L. Stepanov, Optoelectron. Adv. Mater. Rapid Commun., 17, 165 (2023). https://oam-rc.inoe.ro/articles/formation-of-thin-silicon-films-on-soda-lime-silica-glass- surface-by-magnetron-sputtering-deposition
  10. A.L. Stepanov, V.A. Zhikharev, D.E. Hole, P.D. Townsend, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 166, 26 (2000). DOI: 10.1016/S0168-583X(99)00641-2
  11. A. Hernandez, Y. Kudriavtsev, C. Salinas-Fuentes, C. Hernandez-Gutierrez, R. Asomaza, Vacuum, 171, 108976 (2020). DOI: 10.1016/j.vacuum.2019.108976
  12. Я. Тауц, УФН, 94 (3), 501 (1968). DOI: 10.3367/UFNr.0094.196803e.0501 [J. Tauc, Prog. Semiconductors, 9, 89 (1965).]
  13. C.F. Bohren, D.R. Huffman, Absorption and scattering of ligth by small particles (Wiley, N.Y., 1983)
  14. E.D. Palik, Handbook of optical constants of solids (Acad. Press., N.Y., 1985)
  15. D.D. Nolte, J. Appl. Phys., 76, 3740 (1994). DOI: 10.1063/1.357445

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.