Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2024, выпуск 12 » Статья стр. 3
>>>
Пороги распыления при бомбардировке ионами различных мишеней
Бабенко П.Ю.1, Михайлов В.С.1, Зиновьев А.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: babenko@npd.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 22 декабря 2023 г.
В окончательной редакции: 20 февраля 2024 г.
Принята к печати: 9 марта 2024 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2024 г.
PDF версия
Анализируются столкновительные модели, приводящие к объяснению положения энергетических порогов при распылении различных материалов. Совокупность имеющихся экспериментальных и расчетных данных удается описать в рамках модели, учитывающей многократные столкновения. Предлагается эмпирическая кривая для описания положения порогов во всем возможном диапазоне соотношений масс сталкивающихся частиц. Показано сильное влияние формы поверхностного потенциального барьера на положение энергетического порога распыления. Ключевые слова: атомные столкновения, распыление, энергетический порог распыления, поверхностный потенциальный барьер.
  1. A.P. Mika, P. Rousseau, A. Domaracka, B.A. Huber, Phys. Rev. B, 100 (7), 075439 (2019). DOI: 10.1103/PhysRevB.100.075439
  2. A. Tolstogouzov, P. Mazarov, A.E. Ieshkin, S.F. Belykh, N.G. Korobeishchikov, V.O. Pelenovich, D.J. Fu, Vacuum, 188, 110188 (2021). DOI: 10.1016/j.vacuum.2021.110188
  3. F. Duensing, F. Hechenberger, L. Ballauf, A.M. Reider, A. Menzel, F. Zappa, T. Dittmar, D.K. Bohme, P. Scheier, Nucl. Mater. Energy, 30, 101110 (2022). DOI: 10.1016/j.nme.2021.101110
  4. A. Lopez-Cazalilla, F. Granberg, K. Nordlund, C. Cupak, M. Fellinger, F. Aumayr, W. Hauptstra, P.S. Szabo, A. Mutzke, R. Gonzalez-Arrabal, Phys. Rev. Mater., 6 (7), 075402 (2022). DOI: 10.1103/PhysRevMaterials.6.075402
  5. P. Phadke, A.A. Zameshin, J.M. Sturm, R. van de Kruijs, F. Bijkerk, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 520, 29 (2022). DOI: 10.1016/j.nimb.2022.03.016
  6. Н.Н. Андрианова, А.М. Борисов, Е.С. Машкова, В.И. Шульга, Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, N 4, 51 (2016). DOI: 10.7868/S0207352816040041 [N.N. Andrianova, A.M. Borisov, E.S. Mashkova, V.I. Shulga, J. Surf. Investig., 10 (2), 412 (2016). DOI: 10.1134/S1027451016020233]
  7. В.И. Шульга, Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, N 12, 83 (2020). DOI: 10.31857/S1028096020120262 [V.I. Shulga, J. Surf. Investig., 14 (6), 1346 (2020). DOI: 10.1134/S1027451020060440]
  8. П.Ю. Бабенко, В.С. Михайлов, А.Н. Зиновьев, Письма в ЖТФ, 49 (8), 42 (2023). DOI: 10.21883/PJTF.2023.08.55138.19432 [P.Yu. Babenko, V.S. Mikhailov, A.N. Zinoviev, Tech. Phys. Lett., 49 (4), 80 (2023). DOI: 10.21883/TPL.2023.04.55887.19432]
  9. П.Ю. Бабенко, В.С. Михайлов, А.П. Шергин, А.Н. Зиновьев, ЖТФ, 93 (5), 709 (2023). DOI: 10.21883/JTF.2023.05.55467.12-23 [P.Yu. Babenko, V.S. Mikhailov, A.P. Shergin, A.N. Zinoviev, Tech. Phys., 68 (5), 662 (2023). DOI: 10.21883/TP.2023.05.56074.12-23]
  10. В.С. Михайлов, П.Ю. Бабенко, А.П. Шергин, А.Н. Зиновьев, ЖЭТФ, 164 (3), 478 (2023). DOI: 10.31857/S004445102309016X [V.S. Mikhailov, P.Yu. Babenko, A.P. Shergin, A.N. Zinov'ev, JETP, 137 (3), 413 (2023). DOI: 10.1134/S106377612309011X]
  11. R. Behrisch, W. Eckstein, Sputtering by particle bombardment (Springer, Berlin, 2007). DOI: 10.1007/978-3-540-44502-9
  12. R.V. Stuart, G.K. Wehner, J. Appl. Phys., 33 (7), 2345 (1962). DOI: 10.1063/1.1728959
  13. R.P. Doerner, D.G. Whyte, D.M. Goebel, J. Appl. Phys., 93 (9), 5816 (2003). DOI: 10.1063/1.1566474
  14. Sh.-M. Wu, R. van de Kruijs, E. Zoethout, F. Bijkerk, J. Appl. Phys., 106 (5), 054902 (2009). DOI: 10.1063/1.3149777
  15. Z. Somogyvari, G.A. Langer, G. Erdelyi, L. Balazs, Vacuum, 86 (12), 1979 (2012). DOI: 10.1016/j.vacuum.2012.03.055
  16. C. Kittel, Introduction to solid state physics, 8th ed. (Wiley, N.Y., 2005)
  17. P. Sigmund, Phys. Rev., 184 (2), 383 (1969). DOI: 10.1103/PhysRev.184.383
  18. Д. Фальконе, УФН, 162 (1), 71 (1992). DOI: 10.3367/UFNr.0162.199201c.0071 [G. Falcone, Riv. Nuovo Cim., 13 (1), 1 (1990). DOI: 10.1007/BF02742981]
  19. R. Behrisch, G. Maderlechner, B.M.U. Scherzer, M.T. Robinson, Appl. Phys., 18 (4), 391 (1979). DOI: 10.1007/BF00899693
  20. SRIM --- The stopping and range of ions in matter. http://srim.org

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme