Technical Physics Letters
To authors
Volumes and Issues
- 2023
- 2022
Functionalization of low-k surfaces with low-energy Ar ions
In this work low-energy Ar impacts on low- k surfaces were simulated with ab initio density functional theory method. The obtained results reveal the mechanism of CH3-group removal under Ar atom/ion irradiation; the threshold energy of this process was estimated. Keywords: low-k dielectrics, functionalization, simulation, diffusion barriers, methyl groups.
- M.R. Baklanov, P.S. Ho, E. Zschech, Advanced interconnects for ULSI technology (Wiley \& Sons, 2012)
- H. Xu, Zh.-J. Hu, X.-P. Qu, H. Wan, Sh.-S. Yan, M. Li, Sh.-M. Chen, Yu-H. Zhao, J. Zhang, M.R. Baklanov, Appl. Surf. Sci., 498, 143887 (2019). DOI: 10.1016/j.apsusc.2019.143887
- A.P. Palov, O.V. Proshina, T.V. Rakhimova, A.T. Rakhimov, E.N. Voronina, Plasma Process. Polym., 18 (7), 2100007 (2021). DOI: 10.1002/ppap.202100007
- V. Kon, UFN, 172 (3), 336 (2002) (in Russian). DOI: 10.3367/UFNr.0172.200203e.0336
- A.N. Zinoviev, K. Nordlund, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 406, 511 (2017). DOI: 10.1016/j.nimb.2017.03.047
- P.E. Blochl, Phys. Rev. B, 50 (24), 17953 (1994). DOI: 10.1103/PhysRevB.50.17953
- G. Kresse, D. Joubert, Phys. Rev. B, 59 (3), 1758 (1999). DOI: 10.1103/PhysRevB.59.1758
- V.V. Voevodin, A.S. Antonov, D.A. Nikitenko, P.A. Shvets, S.I. Sobolev, I.Yu. Sidorov, K.S. Stefanov, V.V. Voevodin, S.A. Zhumatiy, Supercomput. Front. Innov., 6 (2), 4 (2019). DOI: 10.14529/jsfi190201
- E.N. Voronina, Yu.A. Mankelevich, T.V. Rakhimova, D.V. Lopaev, J. Vac. Sci. Technol. A, 37 (6), 061304 (2019). DOI: 10.1116/1.5122655
- B. deB. Darwent, Bond dissociation energies in simple molecules, Nat. Stand. Ref. Data Ser. (Nat. Bur. Stand., Washington, 1970)
- W. Humphrey, A. Dalke, K. Schulten, J. Mol. Graphics, 14, 33 (1996). DOI: 10.1016/0263-7855(96)00018-5
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.