Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2026, выпуск 10 » Статья стр. 2155
<<<>>>
Определение систематической ошибки измерений методом сдвига на интерферометре Физо
РНФ, № 21-72-30029-П
Министерство образования и науки Российской Федерации, № FFUF-2024-0022
Глушков Е.И.1, Чхало Н.И.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: eglushkov@ipmras.ru, chkhalo@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 15 июня 2026 г.
В окончательной редакции: 15 июня 2026 г.
Принята к печати: 15 июня 2026 г.
Выставление онлайн: 12 августа 2026 г.
PDF версия
Предложена методика определения систематической ошибки измерений на интерферометре Физо методом сдвига вдоль апертуры интерферометра. Методика заключается в измерении перекрывающихся участков исследуемой оптической поверхности с последующим использованием значений восстановленной фазы (без разложения на полиномы) для составления и решения переопределенной системы линейных уравнений. Предложены два эксперимента по валидации методики. В первом эксперименте одна и та же поверхность измеряется в прямом и повернутом на 180o положениях. Во втором эксперименте исследуются две различные поверхности. По разработанной методике экспериментально исследованы два образца: плавленый кварц габаритами 25x70 mm и монокристаллический кремний габаритами 25x200 mm на интерферометре Zygo Verifire с апертурой 4 дюйма. По разработанной методике удалось провести измерение поверхности с ошибкой формы ~λ/1000. Продемонстрировано, что учет систематической ошибки при сшивке субапертур позволяет определить направление стрелы прогиба исследуемой поверхности. Ключевые слова: интерферометр Физо, высококогерентная интерферометрия, абсолютные измерения, форма поверхности.
  1. J. Nicolas, M.L. Ng, P. Pedreira, J. Campos, D. Cocco. Opt. Express, 26 (21), 27212 (2018). DOI: 10.1364/OE.26.027212
  2. S. Chen, Y. Dai, S. Li, X. Peng, J. Wang. Opt. Laser Technol., 44 (5), 1543 (2012). DOI: 10.1016/j.optlastec.2011.12.002
  3. I. Powell, E. Goulet. Appl. Opt., 37 (13), 2579 (1998). DOI: 10.1364/AO.37.002579
  4. P.B. Keenan. SPIE, 429, 2 (1983). DOI: 10.1117/12.936333
  5. B.S. Fritz. Opt. Engineer., 23 (4), 379 (1984). DOI: 10.1117/12.7973304
  6. M. Otsubo, K. Okada, J. Tsujiuchi. Opt. Engineer., 33 (2), 608 (1994). DOI: 10.1117/12.152248
  7. M.B. Da Silva, S.G. Alcock, I.T. Nistea, K. Sawhney. Opt. Lasers Engineer., 161, 107192 (2023). DOI: 10.1016/j.optlaseng.2022.107192
  8. M.S. Mikhailenko, A.E. Pestov, N.I. Chkhalo, L.A. Goncharov, A.K. Chernyshev, I.G. Zabrodin, I. Kaskov, P.V. Krainov, D.I. Astakhov, V.V. Medvedev. Nucl. Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment, 1010, 165554 (2021). DOI: 10.1016/j.nima.2021.165554
  9. Электронный ресурс. Режим доступа: https://www.standa.lt/
  10. M. Erlong, G. Yongqiang. Acta Optica Sinica, 31 (12), 1212008 (2011). DOI: 10.3788/aos201131.1212008
  11. H. Yumoto, S. Matsuyama, H. Mimura, K. Yamauchi, H. Ohashi. Nucl. Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment, 710, 2 (2013). DOI: 10.1016/j.nima.2012.10.126
  12. Е.И. Глушков, И.В. Малышев, А.И. Николаев, Е.В. Петраков, Н.И. Чхало, Р.А. Шапошников. ЖТФ, 95 (10), 1984 (2025). DOI: 10.61011/JTF.2025.10.61352.170-25

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2026 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme