Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2026, выпуск 10 » Статья стр. 2146
<<<>>>
Методы измерений шероховатостей и их специфика применительно к высокоточным подложкам для рентгеновских зеркал
Чхало Н.И.1, Барышева М.М.1,2, Глушков Е.И.1, Зорина М.В.1, Михайленко М.С.1, Торопов М.Н.1
1Институт физики микроструктур РАН, Афонино, Кстовский р-н, Нижегородская обл., Россия
2Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Email: chkhalo@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 28 мая 2026 г.
В окончательной редакции: 28 мая 2026 г.
Принята к печати: 28 мая 2026 г.
Выставление онлайн: 12 августа 2026 г.
PDF версия
Описаны развитые и применяемые в ИФМ РАН методы измерений шероховатостей высокоточных оптических поверхностей в диапазоне пространственных частот ~ 1· 10-6-10^2 μm-1, полностью характеризующие поверхность. Обсуждается специфика применения этих методов для изучения высокоточных сверхгладких подложек для рентгеновской оптики. Сообщается о последних результатах, достигнутых в ИФМ РАН при изготовлении подложек для рентгеновских зеркал из монокристаллического кремния и плавленого кварца. Ключевые слова: сверхгладкие поверхности, высокоточные подложки, рентгеновская оптика, монокристаллический кремний, плавленый кварц, интерферометр с дифракционной волной сравнения, оптическая профилометрия, атомно-силовая микроскопия, диффузное рассеяние рентгеновского излучения.
  1. U. Dinger, F. Eisert, H. Lasser, M. Mayer, A. Seifert, G. Seitz, S. Stacklies, F.-J. Stickel, M. Weiser. Proc. SPIE, 4146, 35 (2000). DOI: 10.1117/12.406674
  2. J.E. Griffith, D.A. Grigg. J. Appl. Phys., 74, R83 (1993). DOI: 10.1063/1.354175
  3. C. Teichert, J.F. MacKay, D.E. Savage, M.G. Lagally, M. Brohl, P. Wagner. Appl. Phys. Lett., 66 (18), 2346 (1995). DOI: 10.1063/1.113978
  4. I.V. Kozhevnikov, M.V. Pyatakhin. J. X-ray Sci. Technol., 8 (4), 253 (2000). DOI: 10.3233/XST-2000-8403
  5. V.E. Asadchikov, I.V. Kozhevnikov, Yu.S. Krivonosov, R. Mercier, T.H. Metzger, C. Morawe, E. Ziegler. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A, 530, 575 (2004). DOI: 10.1016/j.nima.2004.04.216
  6. V.V. Azarova, V.G. Dmitriev, Yu.N. Lokhov, K.N. Malitskii. J. Opt. Technol., 69 (2), 125 (2002). DOI: 10.1364/JOT.69.000125
  7. S. Iles, J. Nelson. In: Optifab 2019, Proc. SPIE, 11175, 246 (2019). DOI: 10.1117/12.2536683
  8. I.V. Yakimchuk, B.S. Roshchin, I.V. Kozhevnikov, V.E. Asadchikov, Zh. Wang. Crystallogr. Rep., 53 (6), 1054 (2008). DOI: 10.1134/S1063774508060229
  9. J. Chen, T. Sun, J. Wang. In: 5th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies, Proc. SPIE, 7656, 583 (2010). DOI: 10.1117/12.863268
  10. М.М. Барышева, Ю.А. Вайнер, Б.А. Грибков, М.В. Зорина, А.Е. Пестов, Д.Н. Рогачев, Н.Н. Салащенко, И.Л. Струля, Н.И. Чхало. Изв. РАН. Сер. физ., 75 (1), 71 (2011). [M.M. Barysheva, Yu.A. Vainer, B.A. Gribkov, M.V. Zorina, A.E. Pestov, D.N. Rogachev, N.N. Salashchenko, I.L. Strulya, N.I. Chkhalo. Bull. Russ. Acad. Sci. Phys., 75 (1), 67 (2011).] DOI: 10.3103/S106287381101005
  11. М.М. Барышева, Н.И. Чхало, Ю.А. Вайнер, М.В. Зорина, М.С. Михайленко, Р.М. Смертин. ЖТФ, 95 (10), 1887 (2025)
  12. D. Malacara. Optical shop testing, 2nd ed. (John Wiley\&Sons, NY., 1992), ISBN 0-471-52232-5
  13. VerifireTM Laser Interferometers. Zygo Corporation. URL: https://www.zygo.com/products/metrology-systems/ laser-interferometers/verifire
  14. I. Powell, E. Goulet. Appl. Opt., 37 (13), 2579 (1998). DOI: 10.1364/AO.37.002579
  15. P.B. Keenan. SPIE, 429, 2 (1983). DOI: 10.1117/12.936333
  16. B.S. Fritz. Opt. Eng., 23 (4), 379 (1984). DOI: 10.1117/12.7973304
  17. A.A. Akhsakhalyan, N.I. Chkhalo, N. Kumar, I.V. Malyshev, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, B.A. Ulasevich, S.V. Kuzin. Precis. Eng., 72, 330 (2021). DOI: 10.1016/j.precisioneng.2021.05.011
  18. CHOTEST Group. White Light Interferometer. URL: https://en.chotest.com/detail.aspx?cid=823
  19. J. Burke, D.S. Wu. Appl. Opt., 49 (31), 6014 (2010). DOI: 10.1364/AO.49.006014
  20. X. Hou, P. Yang, F. Wu, Y. Wan. Opt. Lasers Eng., 49 (7), 833 (2011). DOI: 10.1016/j.optlaseng.2011.03.002
  21. Н.И. Чхало, И.В. Малышев, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, М.Н. Торопов. УФН, 190 (1), 74 (2020). DOI: 10.3367/UFNr.2019.05.038601
  22. M.V. Svechnikov, N.I. Chkhalo, M.N. Toropov, N.N. Salashchenko. Opt. Express, 23 (11), 14677 (2015). DOI: 10.1364/OE.23.014677
  23. М. Борн, Э. Вольф. Основы оптики (Наука, М., 1970)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2026 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme