Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2026, выпуск 10 » Статья стр. 2059
<<<>>>
Алгоритмы предобработки карт поверхности для ионно-пучковой коррекции
Минобрнауки России, государственный проект, FSMR-2025-0005
Минобрнауки России, государственное задание, FFUF-2024-0022
Минобрнауки России, Государственного задания ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
Дедкова А.А.1, Чернышев А.К.2, Кокошкин А.В.3
1Национальный исследовательский университет " МИЭТ", Зеленоград, Москва, Россия
2Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
3ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН, Фрязинский филиал, Фрязино, Россия
Email: my_name9999@mail.ru
Поступила в редакцию: 5 мая 2026 г.
В окончательной редакции: 5 мая 2026 г.
Принята к печати: 5 мая 2026 г.
Выставление онлайн: 12 августа 2026 г.
PDF версия
Предложены методы предобработки карт ошибок формы поверхностей рентгенооптических элементов перед ионно-пучковой коррекцией, устраняющие локальные дифракционные артефакты, возникающие при интерферометрических измерениях. Методы включают идентификацию артефактов с помощью преобразования Хафа и восстановление образовавшихся пропусков с использованием сплайн-интерполяции или метода интерполяции последовательно вычисляемого спектра Фурье. Экспериментальная проверка на данных двухзеркального объектива рентгеновского микроскопа показала, что такая предобработка исключает ложные сигналы в картах времени экспозиции ионного пучка, что позволит повысить точность ионного травления. Ключевые слова: поверхность, рельеф, интерферометрия, измерения формы поверхности, рентгеновские зеркала, изображающие рентгеновские системы, дефект, цифровая обработка изображений, распознавание образов.
  1. H.J. Levinson. Jpn. J. Appl. Phys., 61 (SD), SD0803 (2022). DOI: 10.35848/1347-4065/ac49fa
  2. E.V. Setten, G. Bottiglieri, J. McNamara, J.V. Schoot, K. Troost, J. Zekry, T. Fliervoet, S. Hsu, J. Zimmermann, M. Roesch, B. Bilski, P. Graeupner. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography X. SPIE, 10957, 9 (2019). DOI: 10.1117/12.2514952
  3. C. Hoffman, T.G. Giallorenzi, L.B. Slater. Appl. Optics, 54 (31), F268 (2015). DOI: 10.1364/AO.54.00F268
  4. И.В. Малышев, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 1, 3 (2019). DOI: 10.1134/S0207352819010128
  5. M. Born, E. Wolf. Principles of Optics: electromagnetic theory of propagation, interference and diffraction of light, 7-th ed. (Cambridge University Press, Cambridge, 1999), ch. 8.6.2, р. 461
  6. M. Born, E. Wolf. Principles of Optics: electromagnetic theory of propagation, interference and diffraction of light, ed. by M. Born, E. Wolf. 7th ed. (Cambridge: Cambridge University Press, 1999), ch. 9.3, р. 528
  7. T. Wang, L. Huang, M. Vescovi, D. Kuhne, Y. Zhu, V. Negi, Z. Zhang, C. Wang, X. Ke, H. Choi, W.C. Pullen, D. Kim, Q. Kemao, K. Nakhoda, N. Bouet, M. Idir. Opt. Еxpress, 29 (23), 38737 (2021). DOI: 10.1364/OE.443346
  8. E. Miao, G. Wang, S. Gao, Y. Sui, H. Yang. In Intern. Conf. Optical and Photonic Engineering (icOPEN 2015). SPIE, 9524, 768 (2015). DOI: 10.1117/12.2187648
  9. A.K. Chernyshev, N.I. Chkhalo, I.V. Malyshev, M.S. Mikhailenko, A.E. Pestov, R.S. Pleshkov, R.V. Smertin, M.V. Svechnikov, M.N. Toropov. Precision Eng., 69, 29 (2021). DOI: 10.1016/j.precisioneng.2021.01.006
  10. E.V. Petrakov, N.I. Chkhalo, A.K. Chernyshev, E.I. Glushkov. Opt. Eng., 63 (11), 114104 (2024). DOI: 10.1117/1.OE.63.11.114104
  11. Е.А. Аминова, И.Н. Трапезников. REDS: Телекоммуникационные устройства и системы, 7 (3), 280 (2017)
  12. Я.В. Савицкий, С.В. Галкин. Аэрокосмическая техника, высокие технологии и инновации, 1, 130 (2021)
  13. Д.Д. Захаров, В.С. Сизиков, В.В. Шемплинер, Д.С. Щекотин. Научно-технический вестник Санкт-Петербургского гос. ун-та информационных технологий, механики и оптики, 32, 138 (2006)
  14. А.А. Долгалев, А.Б. Данаев, Ш.Д. Хоссаин, А.А. Куликова, Н.Ф. Ямуркова, Д.В. Буренчев, А.А. Чагаров. Медицинский алфавит, 38, 14 (2021). DOI: 10.33667/2078-5631-2021-38-14-20
  15. В.Г. Копотилова, А.В. Пирус, А.И. Крылова. В сб.: Молодежь и научно-технический прогресс: материалы региональной научно-практической конференции. (2021), с. 305
  16. Р.Н. Минниханов, Т.Р. Баторшин, Р.М. Габбазов, Р.И. Фахразиев, А.С. Катасев. Вестник Воронежского гос. ун-та. Серия: Системный анализ и информационные технологии, 3, 110 (2025). DOI: 10.17308/sait/1995-5499/2025/3/110-122
  17. В.В. Бурдина, О.С. Шипитько. Сенсорные системы, 35 (2), 153 (2021). DOI: 10.31857/S0235009221020049
  18. А. Самойленко, А. Пимкин, Н. Антипина, А. Овечкина, А. Далечина, М. Беляев. В сб.: Информационные технологии и системы 2019 (ИТиС 2019). Сборник трудов 43-й междисциплинарной школы-конференции ИППИ РАН. (2019), с. 439
  19. R.C. Gonzalez, R.E. Woods. Digital image processing, 3rd ed. (Pearson Prentice Hall, NJ, 2008)
  20. Ю.Л. Ребецкий, Р.С. Алексеев. Геодинамика и тектонофизика, 5 (1), 257 (2014)
  21. В.Л. Самсонов. Тр. Ростовского гос. ун-та путей сообщения, 2, 51 (2016)
  22. P.V. Gulyaev. Devices and Methods of Measurements, 14 (3), 199 (2023). DOI: 10.21122/2220-9506-2023-14-3-199-206
  23. А.Л. Гончаров, И.С. Чулков, А.В. Нехорошев, Х.М. Козырев. Вестник Пермского нац. исследовательского политех. ун-та. Машиностроение, материаловедение, 25 (2), 59 (2023). DOI: 10.15593/2224-9877/2023.2.07
  24. С.Ф. Яцун, А.В. Мальчиков, О.Б. Кочергин. Известия Юго-Западного гос. ун-та, 26 (3), 8 (2022). DOI: 10.21869/2223-1560-2022-26-3-8-20
  25. В.А. Частикова, С.А. Жерлицын, А.В. Беспалов. Электронный сетевой политематический журнал " Научные труды КубГТУ", 1, 88 (2024). DOI: 10.26297/2312-9409.2024.1.10
  26. А.П. Кирпичников, С.А. Ляшева, А.А. Шакирзянова, М.П. Шлеймович, Р.М. Шакирзянов. Вестник Технологического ун-та, 22 (8), 164 (2019)
  27. А.В. Кокошкин, В.А. Коротков, К.В. Коротков, Е.П. Новичихин. Компьютерная оптика, 43 (6), 1030 (2019). DOI: 10.18287/2412-6179-2019-43-6-1030-1040
  28. Л.М. Брэгман. ДАН СССР, 162 (3), 487 (1965)
  29. L.G. Gubin, B.T. Polyak, E.V. Raik. USSR Computational Mathematics and Mathematical Physics, 7 (6), (1967). DOI: 10.1016/0041-5553(67)90113-9
  30. А.В. Кокошкин, В.А. Коротков, Е.П. Новичихин. Радиотехника и электроника, 65 (12), 1181 (2020). DOI: 10.31857/S0033849420120104
  31. А.В. Кокошкин. Журнал радиоэлектроники [электронный журнал], 9 (2022). DOI: 10.30898/1684-1719.2022.9.7
  32. А.В. Ашкеназы. Сплайн-поверхности. Основы теории и вычислительные алгоритмы (Изд-во Тверского гос. ун-та, Тверь, 2003)
  33. Е.А. Нестеренко. Записки Горного ин-та, 204, 127 (2013)
  34. D. Lokhande, R.G. Zope, V. Bendre. IJCSN Intern. J. Computer Sci. Network, 3 (1), 1100 (2014)
  35. I.V. Malyshev, D.G. Reunov, A.K. Chernyshev, N.I. Chkhalo, M.N. Toropov, M.S. Mikhailenko, A.E. Pestov, R.S. Pleshkov, Ya.O. Shabelski, V.N. Polkovnikov. Opt. Express, 30 (26), 47567 (2022). DOI: 10.1364/OE.475032
  36. P.P. Naulleau, K.A. Goldberg, S.H. Lee, C. Chang, D. Attwood, J. Bokor. Appl. Opt., 38 (35), 7252 (1999). DOI: 10.1364/AO.38.007252
  37. N.I. Chkhalo, A.Yu. Klimov, V.V. Rogov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov. Rev. Sci. Instrum., 79, 033107 (2008). DOI: 10.1063/1.2900561
  38. А.А. Дедкова, И.В. Флоринский, А.К. Чернышев. ЖТФ, 93 (7), 1059 (2023). DOI: 10.21883/JTF.2023.07.55770.89-23 [A.A. Dedkova, I.V. Florinsky, A.K. Chernyshev. Tech. Phys., 68 (7), 988 (2023). DOI: 10.61011/TP.2023.07.56651.89-23]
  39. А.А. Дедкова, И.В. Флоринский, Е.Э. Гусев, Н.А. Дюжев, М.Ю. Фомичев, М.Ю. Штерн. Дефектоскопия, 11, 41 (2021). DOI: 10.31857/S0130308221110051 [A.A. Dedkova, E.E. Gusev, N.A. Dyuzhev, M.Y. Fomichev, M.Y. Shtern, I.V. Florinsky. Russ. J. Nondestructive Testing, 57 (11), 1000 (2021). DOI: 10.1134/S1061830921110073]
  40. И.Н. Мощенко. Инженерный вестник Дона, 3, 77 (2015).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2026 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme