Исследовано влияние температуры осаждения на свойства тонких пленок алюминия и созданных на их основе сверхпроводящих копланарных резонаторов. Ключевое различие между изготовленными образцами заключается в условиях формирования: первая серия напылялась при комнатной температуре, тогда как вторая - на охлаждаемую жидким азотом подложку. Криогенное воздействие способствовало изменению микроструктуры металла, в частности, уменьшению среднего размера кристаллического зерна с 45 до 24 nm и существенному росту плотности межзеренных границ. Установлено, что подобное структурное разупорядочение закономерно повышает удельное сопротивление материала в нормальном состоянии. В свою очередь, это обеспечивает значительное увеличение кинетической индуктивности измерительных структур. Результаты подтверждают, что описанный технологический подход позволяет целенаправленно управлять электродинамическими параметрами цепей и открывает пути для пространственной миниатюризации компонентов перспективных квантовых устройств. Ключевые слова: сверхпроводимость, кинетическая индуктивность, криогенное напыление, структура пленок, копланарный резонатор.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.