Исследование структурных и отражательных характеристик короткопериодных Mo/Be многослойных рентгеновских зеркал
Российский научный фонд, 21-72-30029
Министерство образования и науки Российской Федерации, FFUF-2024-0022
Плешков Р.С.1, Гарахин C.А.1, Глушков Е.И.1, Полковников В.Н.1, Чхало Е.Д.1, Чхало Н.И.1
1Институт физики микроструктур РАН, Афонино, Кстовский р-н, Нижегородская обл., Россия
Email: pleshkov@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 6 мая 2024 г.
В окончательной редакции: 6 мая 2024 г.
Принята к печати: 6 мая 2024 г.
Выставление онлайн: 27 июля 2024 г.
Методами рентгеновской рефлектометрии, диффузного рассеяния рентгеновского излучения и интерферометрии исследована серия короткопериодных многослойных зеркал (МЗ) Mo/Be. Показано, что структура МЗ (наличие дифракционных порядков на угловой зависимости коэффициента отражения) наблюдается, по крайней мере, до величины периода 1.29 nm. Также при приближении к экстремально малым величинам периодов, начиная с 1.64 nm, наблюдается резкий рост ширины переходной области между слоями зеркала. Ключевые слова: многослойные рентгеновские зеркала, синхротронные приложения, монохроматор рентгеновского излучения, внутренние напряжения.
- P.C. Pradhan, A. Majhi, M. Nayak. J. Appl. Phys., 123, 095302 (2018). DOI: 10.1063/1.5018266
- M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, A.A. Fraerman, A.E. Pestov, K.A. Prokhorov, N.N. Salashchenko, Y.A. Vainer. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A, 543, 333 (2005). DOI: 10.1016/j.nima.2005.01.251
- Yu.A. Vainer, A.E. Pestov, K.A. Prokhorov, N.N. Salashchenko, A.A. Fraerman, V.V. Chernov, N.I. Chkhalo. J. Exp. Theor. Phys., 103 (3), 346 (2006). DOI: 10.1134/S1063776106090020
- S.V. Rashchenko, M.A. Skamarokha, G.N. Baranov, Y.V. Zubavichus, I.V. Rakshun. AIP Conf. Proc., 2299, 060001 (2020). DOI: 10.1063/5.0030346
- S. Roling, B. Siemer, F. Wahlert, M. Wostmann, H. Zacharias, L. Samoylova, H. Sinn, S. Braun, P. Gawlitza, E. Schneidmiller, M. Yurkov, F. Siewert, E. Ziegler, O. Chubar. Proc. FEL-2013, WEPSO56, 627 (2013)
- Р.А. Шапошников, С.А. Гарахин, К.В. Дуров, В.Н. Полковников, Н.И. Чхало. ЖТФ, 93 (7), 931 (2023). DOI: 10.21883/JTF.2023.07.55748.77-23 [R.A. Shaposhnikov, S.A. Garakhin, K.V. Durov, V.N. Polkovnikov, N.I. Chkhalo. Tech. Phys., 68 (7), 866 (2023). DOI: 10.61011/TP.2023.07.56629.77-23]
- R. Shaposhnikov, V. Polkovnikov, S. Garakhin, Y. Vainer, N. Chkhalo, R. Smertin, K. Durov, E. Glushkov, S. Yakunin, M. Borisov. J. Synchrotron Radiat., 31 (2), 286 (2024). DOI: 10.1107/S1600577524000419
- M.V. Svechnikov, N.I. Chkhalo, S.A. Gusev, A.N. Nechay, D.E. Pariev, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, D.A. Tatarskiy, N.N. Salashchenko, F. Schafers, M.G. Sertsu, A. Sokolov, Y.A. Vainer, M.V. Zorina. Opt. Express, 26 (26), 33718 (2018). DOI: 10.1364/OE.26.033718
- Р.М. Смертин, С.А. Гарахин, С.Ю. Зуев, А.Н. Нечай, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, М.В. Свечников, M.G. Sertsu, A. Sokolov, Н.И. Чхало, F. Schafers, П.А. Юнин. ЖТФ, 89 (11), 1783 (2019). DOI: 10.21883/JTF.2019.11.48345.136-19 [R.M. Smertin, S.A. Garakhin, S.Yu. Zuev, A.N. Nechai, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.V. Svechnikov, M.G. Sertsu, A. Sokolov, N.I. Chkhalo, F. Schafers, P.A. Yunin. Tech. Phys., 64 (11), 1692 (2019). DOI: 10.1134/S1063784219110252]
- M. Svechnikov. J. Appl. Crystallogr., 53 (1), 244 (2020). DOI: 10.1107/S160057671901584X
- M.S. Bibishkin, D.P. Chekhonadskih, N.I. Chkhalo, E.B. Kluyenkov, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, L.A. Shmaenok, I.G. Zabrodin, S.Y. Zuev. Proc. SPIE, 5401, 8 (2004). DOI: 10.1117/12.556949
- R.M. Smertin, N.I. Chkhalo, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, R.A. Shaposhnikov, S.Y. Zuev. Thin Solid Films, 782, 140044 (2023). DOI: 10.1016/j.tsf.2023.140044
- G.G. Stoney. Proc. R. Soc. Lond. A., 82, 172 (1909). DOI: 10.1098/rspa.1909.0021
- R. Pleshkov, N. Chkhalo, V. Polkovnikov, M. Svechnikov, M. Zorina. J. Appl. Crystallogr., 54 (6), 1747 (2021). DOI: 10.1107/S160057672101027X
- P.B. Mirkarimi. Opt. Eng., 38 (7), 1246 (1999). DOI: 10.1117/1.602170
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук