Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2025
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Многослойные рентгеновские зеркала на основе бора для спектрального диапазона 6.7-9 nm
Шапошников Р.А.1, Загайнов Н.В.1, Полковников В.Н.1, Чхало Н.И.1, Гарахин С.А.1, Зуев С.Ю.1
1Институт физики микроструктур РАН, Афонино, Кстовский р-н, Нижегородская обл., Россия 
Email: shaposhnikov-roma@mail.ru
Поступила в редакцию: 12 апреля 2024 г.
В окончательной редакции: 12 апреля 2024 г.
Принята к печати: 12 апреля 2024 г.
Выставление онлайн: 27 июля 2024 г.
Приведены результаты исследования отражательных характеристик и структурных параметров многослойных рентгеновских зеркал на основе пары материалов Ru/B4C, оптимизированных на рабочий диапазон длин волн 67-90 Angstrem. Приведено сравнение данных структур с зеркалами Mo/B4C и La/B4C. Ключевые слова: многослойные рентгеновские зеркала, синхротронные приложения, монохроматоры рентгеновского излучения, рентгеновская литография.
- A. Pirati, J. van Schoot, K. Troost, R. van Ballegoij, P. Krabbendam, J. Stoeldraijer, E. Loopstra, J. Benschop, J. Finders, H. Meiling, E. van Setten, N. Mika, J. Dredonx, U. Stamm, B. Kneer, B. Thuering, W. Kaiser, T. Heil, S. Migura. Proc. SPIE., 10143, 101430G (2017). DOI: 10.1117/12.2261079
- N.I. Chkhalo, N.N. Salashchenko. AIP Advances, 3 (8), 082130 (2013). DOI: 10.1063/1.4820354
- Электронный ресурс. Режим доступа: https://www.asml.com/en/products/euv-lithography-systems
- N.N. Salashchenko, N.I. Chkhalo. Her. Russ. Acad. Sci., 78, 279 (2008). DOI: 10.1134/S1019331608030155
- S.S. Churilov, R.R. Kildiyarova, A.N. Ryabtsev, S.V. Sadovsky. Phys. Scr., 80, 045303 (2009). DOI:10.1063/1.3524494
- Otsuka, D. Kilbane, J. White, T. Higashiguchi, N. Yugami, T. Yatagai, W. Jiang, A. Endo, P. Dunne, G. O'Sullivan. Appl. Phys. Lett., 97, 111503 (2010). DOI: 10.1063/1.3490704
- С.А. Гарахин, В.Н. Полковников, Н.И. Чхало. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 3, 10 (2019). DOI: 10.1134/S0207352819030077
- А.А. Ахсахалян, Ю.А. Вайнер, С.А. Гарахин, К.А. Елина, П.С. Заверткин, С.Ю. Зуев, Д.В. Ивлюшкин, А.Н. Нечай, А.Д. Николенко, Д.Е. Парьев, Р.С. Плешков, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, М.В. Свечников, Н.И. Чхало. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 1, 14 (2019). DOI: 10.1134/S0207352819010025
- J. K. Lepson, P. Beiersdorfer, J. Clementson, M.F. Gu, M. Bitter, L. Roquemore, R. Kaita, P.G. Cox, A.S. Safronova. J. Phys. B: At. Mol. Opt. Phys., 43, 144018 (2010). DOI: 10.1088/0953-4075/43/14/144018
- С.С. Андреев, М.М. Барышева, Н.И. Чхало, С.А. Гусев, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Д.Н. Рогачев, Н.Н. Салащенко, Ю.А. Вайнер, С.Ю. Зуев. ЖТФ, 80 (8), 93 (2010). [S.S. Andreev, M.M. Barysheva, N.I. Chkhalo, S.A. Gusev, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, D.N. Rogachev, N.N. Salashchenko, Yu.A. Vainer, S.Yu. Zuev. Tech. Phys., 55 (8), 168 (2010). DOI: 10.1134/S1063784210080153]
- N.I. Chkhalo, S. Kunstner, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, F. Schafers, S.D. Starikov. Appl. Phys. Lett., 102, 011602 (2013). DOI: 10.1063/1.4774298
- P. Naujok, S. Yulin, N. Kaiser, A. Tunnermann. Proc. SPIE, 9422, 94221K-1 (2015). DOI: 10.1117/12.2085764
- D.S. Kuznetsov, A.E. Yakshin, J.M. Sturm, R.W.E. van de Kruijs, E. Louis, F. Bijkerk. Opt. Lett., 40 (16), 3778 (2015). DOI: 10.1364/OL.40.003778
- T.D. Nguyen, R. Gronsky, J.B. Kortricht. Mat. Res. Soc. Symp. Proc., 280, (1993). DOI: 10.1557/PROC-280-161
- C. Borel, C. Morawe, A. Rommeveaux, C. Huguenot, J.-C. Peffen. Proc. SPIE, 6317, 63170I-1 (2006). DOI: 10.1117/12.678472
- Ch. Borel, Ch. Morawe, E. Ziegler, Th. Bigault, J.-Y. Massonnat, J.-Ch. Peffen, E. Debourg. Proc. SPIE, 5918, 591801 (2005). DOI: doi.org/10.1117/12.613873
- Qiushi Huang, Yang Liu, Yang Yang, Runze Qi, Yufei Feng, I.V. Kozhevnikov, Wenbin Li, Zhong Zhang, Hui Jiang, Ling Zhang, Aiguo Li, Jie Wang, Zhanshan Wang. Opt. Express, 26 (17), 21803 (2018). DOI: 10.1364/OE.26.021803
- И.Г. Забродин, Б.А. Закалов, И.А. Каськов, Е.Б. Клюенков, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, С.Д. Стариков, Л.А. Суслов. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 7, 37 (2013). DOI: 10.7868/S0207352813070202
- M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, A.A. Fraerman, A.E. Pestov, K.A. Prokhorov, N.N. Salashchenko, Yu.A. Vainer. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A, 543, 333 (2005). DOI: 10.1016/j.nima.2005.01.251
- M.J. Svechnikov. Appl. Crystallogr., 53 (1), 244 (2020). DOI: 10.1107/S160057671901584X
- R.M. Smertin, N.I. Chkhalo, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, R.A. Shaposhnikov, S.Yu. Zuev. Thin Solid Films, 782, 140044 (2023). DOI: 10.1016/j.tsf.2023.140044
- R. Shaposhnikov, V. Polkovnikov, S. Garakhin, Y. Vainer, N. Chkhalo, R. Smertin, K. Durov, E. Glushkov, S. Yakunin, M. Borisov. J. Synchrotron Rad., 31, 268 (2024). DOI: 10.1107/S1600577524000419
- V.E. Asadchikov, I.N. Bukreeva, A. Duparre, I.V. Kozhevnikov, Y.S. Krivonosov, C. Morawed, M.V. Pyatakhin, J. Steinert, A.V. Vinogradov, E. Ziegle. Optical Metrology Roadmap for the Semiconductor, Optical, and Data Storage Industries II Proceed. V. 4449, (2001). DOI: 10.1117/12.450102
- M. Bass. Handbook of Optics, 1, 1 (1995)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
