Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2024, выпуск 8 » Статья стр. 1260
<<<>>>
Многослойные рентгеновские зеркала на основе бора для спектрального диапазона 6.7-9 nm
Шапошников Р.А.1, Загайнов Н.В.1, Полковников В.Н.1, Чхало Н.И.1, Гарахин С.А.1, Зуев С.Ю.1
1Институт физики микроструктур РАН, Афонино, Кстовский р-н, Нижегородская обл., Россия
Email: shaposhnikov-roma@mail.ru
Поступила в редакцию: 12 апреля 2024 г.
В окончательной редакции: 12 апреля 2024 г.
Принята к печати: 12 апреля 2024 г.
Выставление онлайн: 27 июля 2024 г.
PDF версия
Приведены результаты исследования отражательных характеристик и структурных параметров многослойных рентгеновских зеркал на основе пары материалов Ru/B4C, оптимизированных на рабочий диапазон длин волн 67-90 Angstrem. Приведено сравнение данных структур с зеркалами Mo/B4C и La/B4C. Ключевые слова: многослойные рентгеновские зеркала, синхротронные приложения, монохроматоры рентгеновского излучения, рентгеновская литография.
  1. A. Pirati, J. van Schoot, K. Troost, R. van Ballegoij,  P. Krabbendam, J. Stoeldraijer, E. Loopstra, J. Benschop,  J. Finders, H. Meiling, E. van Setten, N. Mika, J. Dredonx,  U. Stamm, B. Kneer, B. Thuering, W. Kaiser, T. Heil, S. Migura. Proc. SPIE., 10143, 101430G (2017). DOI: 10.1117/12.2261079
  2. N.I. Chkhalo, N.N. Salashchenko. AIP Advances, 3 (8), 082130 (2013). DOI: 10.1063/1.4820354
  3. Электронный ресурс. Режим доступа: https://www.asml.com/en/products/euv-lithography-systems
  4. N.N. Salashchenko, N.I. Chkhalo. Her. Russ. Acad. Sci., 78, 279 (2008). DOI: 10.1134/S1019331608030155
  5. S.S. Churilov, R.R. Kildiyarova, A.N. Ryabtsev, S.V. Sadovsky. Phys. Scr., 80, 045303 (2009). DOI:10.1063/1.3524494
  6. Otsuka, D. Kilbane, J. White, T. Higashiguchi, N. Yugami, T. Yatagai, W. Jiang, A. Endo, P. Dunne, G. O'Sullivan. Appl. Phys. Lett., 97, 111503 (2010). DOI: 10.1063/1.3490704
  7. С.А. Гарахин, В.Н. Полковников, Н.И. Чхало. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 3, 10 (2019). DOI: 10.1134/S0207352819030077
  8. А.А. Ахсахалян, Ю.А. Вайнер, С.А. Гарахин, К.А. Елина, П.С. Заверткин, С.Ю. Зуев, Д.В. Ивлюшкин, А.Н. Нечай, А.Д. Николенко, Д.Е. Парьев, Р.С. Плешков, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, М.В. Свечников, Н.И. Чхало. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 1, 14 (2019). DOI: 10.1134/S0207352819010025
  9. J. K. Lepson, P. Beiersdorfer, J. Clementson, M.F. Gu, M. Bitter, L. Roquemore, R. Kaita, P.G. Cox, A.S. Safronova. J. Phys. B: At. Mol. Opt. Phys., 43, 144018 (2010). DOI: 10.1088/0953-4075/43/14/144018
  10. С.С. Андреев, М.М. Барышева, Н.И. Чхало, С.А. Гусев, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Д.Н. Рогачев, Н.Н. Салащенко, Ю.А. Вайнер, С.Ю. Зуев. ЖТФ, 80 (8), 93 (2010). [S.S. Andreev, M.M. Barysheva, N.I. Chkhalo, S.A. Gusev, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, D.N. Rogachev, N.N. Salashchenko, Yu.A. Vainer, S.Yu. Zuev. Tech. Phys., 55 (8), 168 (2010). DOI: 10.1134/S1063784210080153]
  11. N.I. Chkhalo, S. Kunstner, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, F. Schafers, S.D. Starikov. Appl. Phys. Lett., 102, 011602 (2013). DOI: 10.1063/1.4774298
  12. P. Naujok, S. Yulin, N. Kaiser, A. Tunnermann. Proc. SPIE, 9422, 94221K-1 (2015). DOI: 10.1117/12.2085764
  13. D.S. Kuznetsov, A.E. Yakshin, J.M. Sturm, R.W.E. van de Kruijs, E. Louis, F. Bijkerk. Opt. Lett., 40 (16), 3778 (2015). DOI: 10.1364/OL.40.003778
  14. T.D. Nguyen, R. Gronsky, J.B. Kortricht. Mat. Res. Soc. Symp. Proc., 280, (1993). DOI: 10.1557/PROC-280-161
  15. C. Borel, C. Morawe, A. Rommeveaux, C. Huguenot, J.-C. Peffen. Proc. SPIE, 6317, 63170I-1 (2006). DOI: 10.1117/12.678472
  16. Ch. Borel, Ch. Morawe, E. Ziegler, Th. Bigault, J.-Y. Massonnat, J.-Ch. Peffen, E. Debourg. Proc. SPIE, 5918, 591801 (2005). DOI: doi.org/10.1117/12.613873
  17. Qiushi Huang, Yang Liu, Yang Yang, Runze Qi, Yufei Feng, I.V. Kozhevnikov, Wenbin Li, Zhong Zhang, Hui Jiang, Ling Zhang, Aiguo Li, Jie Wang, Zhanshan Wang. Opt. Express, 26 (17), 21803 (2018). DOI: 10.1364/OE.26.021803
  18. И.Г. Забродин, Б.А. Закалов, И.А. Каськов, Е.Б. Клюенков, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, С.Д. Стариков, Л.А. Суслов. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 7, 37 (2013). DOI: 10.7868/S0207352813070202
  19. M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, A.A. Fraerman, A.E. Pestov, K.A. Prokhorov, N.N. Salashchenko, Yu.A. Vainer. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A, 543, 333 (2005). DOI: 10.1016/j.nima.2005.01.251
  20. M.J. Svechnikov. Appl. Crystallogr., 53 (1), 244 (2020). DOI: 10.1107/S160057671901584X
  21. R.M. Smertin, N.I. Chkhalo, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, R.A. Shaposhnikov, S.Yu. Zuev. Thin Solid Films, 782, 140044 (2023). DOI: 10.1016/j.tsf.2023.140044
  22. R. Shaposhnikov, V. Polkovnikov, S. Garakhin, Y. Vainer, N. Chkhalo, R. Smertin, K. Durov, E. Glushkov, S. Yakunin, M. Borisov. J. Synchrotron Rad., 31, 268 (2024). DOI: 10.1107/S1600577524000419
  23. V.E. Asadchikov, I.N. Bukreeva, A. Duparre, I.V. Kozhevnikov, Y.S. Krivonosov, C. Morawed, M.V. Pyatakhin, J. Steinert, A.V. Vinogradov, E. Ziegle. Optical Metrology Roadmap for the Semiconductor, Optical, and Data Storage Industries II Proceed. V. 4449, (2001). DOI: 10.1117/12.450102
  24. M. Bass. Handbook of Optics, 1, 1 (1995)

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme