Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2024, выпуск 8 » Статья стр. 1250
<<<>>>
Многослойные зеркала на основе Cr/Ti для рентгеновской микроскопии "в окне прозрачности воды"
Russian science foundation, 21-72-30029
Гарахин С.А. 1, Антюшин Е.С.1, Барышева М.М. 1,2, Пестов А.Е. 1, Полковников В.Н. 1, Плешков Р.С.1, Смертин Р.М. 1, Чхало Н.И. 1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Email: garahins@ipmras.ru, mmbarysheva@ipmras.ru, chkhalo@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 13 мая 2024 г.
В окончательной редакции: 13 мая 2024 г.
Принята к печати: 13 мая 2024 г.
Выставление онлайн: 27 июля 2024 г.
PDF версия
Изучено влияние тонких прослоек карбида бора (B4C) на внутреннее строение и коэффициент отражения на длине волны 2.74 nm Cr/Ti многослойных зеркал при нормальных углах падения. Зеркала имели 400 периодов величиной около 1.4 nm. Достигнуто увеличение коэффициента отражения с 5 до 11%. Причиной роста коэффициента отражения является уменьшение перемешивания материалов на границах. Значительная часть работы посвящена вопросу прецизионной рефлектометрии на лабораторном рефлектометре в спектральной области "окна прозрачности воды". Ключевые слова: рентгеновское излучение, многослойные зеркала, рефлектометрия, мягкий рентгеновский диапазон, окно прозрачности воды, буферные слои, рентгеновская трубка, дифракционная решетка, ионный источник.
  1. M. Schuster, H. Gobel. J. Phys. D: Appl. Phys., 28 (4A), A270 (1995). DOI: 10.1088/0022-3727/28/4A/053
  2. H. Mimura, S. Handa, T. Kimura, H. Yumoto, D. Yamakawa, H. Yokoyamа, S. Matsuyama, K. Inagaki, K. Yamamura, Ya. Sano, K. Tamasaku, Y. Nishino, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi. Nature Рhys., 6 (2), 122 (2010). DOI: 10.1038/nphys1501
  3. J.B. Kortright, J.H. Underwood. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment, 291 (1--2), 272 (1990). DOI: 10.1016/0168-9002(90)90073-F
  4. S.S. Andreev, M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, A.E. Pestov, K.A. Prokhorov, N.N. Salaschchenko. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment, 543 (1), 340 (2005). DOI: 10.1016/j.nima.2005.01.252
  5. N.I. Chkhalo, M.N. Drozdov, E.B. Kluenkov, S.V. Kuzin, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, N.N. Salashchenko, N.N. Tsybin, S.Yu. Zuev. Appl. Opt., 55 (17), 4683 (2016). DOI: 10.1364/AO.55.004683
  6. A.D. Akhsakhalyan, E.B. Kluenkov, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, A.N. Nechay, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.V. Svechnikov, M.N. Toropov, N.N. Tsybin, N.I. Chkhalo, A.V. Shcherbakov. J. Surf. Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques, 11 (1), 1 (2017). DOI: 10.1134/S1027451017010049
  7. E. Fogelqvist, M. Kordel, V. Carannante, B. Onfelt. H.M. Hertz. Sci. Reports, 7 (1), 1 (2017). DOI: 10.1038/s41598-017-13538-2
  8. N. Ghafoor, P. Persson, J. Birch, F. Eriksson, F. Schafers. Appl. Opt., 45 (1), 137 (2006). DOI: 10.1364/AO.45.000137
  9. Q. Huang, J. Fei, Y. Liu, P. Li, M. Wen, Ch. Xie, Ph. Jonnard, A. Giglia, Zh. Zhang, K. Wang, Zh. Wang. Opt. Lett., 41 (4), 701 (2016). DOI: 10.1364/OL.41.000701
  10. E.M. Gullikson, F. Salmassi, A.L. Aquila, F. Dollar. Progress in Short Period Multilayer Coatings for Water WindowAapplications (Lawrence Berkeley National Laboratory, 2008), http://escholarship.org/uc/item/8hv7q0hj
  11. M. Svechnikov. J. Appl. Crystallogr., 53 (1), 244 (2020). DOI: 10.1107/S160057671901584X
  12. Н.И. Чхало. Методы диагностики структурных и дисперсионных свойств многослойных рентгеновских зеркал (Диссертация, Нижний Новгород, 2009)
  13. Электронный ресурс. Режим доступа: https://xdb.lbl.gov/Section1/Table_1-3.pdf
  14. М.С. Бибишкин, И.Г. Забродин, С.Ю. Зуев, Е.Б. Клюенков,   Н.Н. Салащенко, Д.П. Чехонадский, Н.И. Чхало, Л.А. Шмаенок. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 1, 70 (2003)
  15. М.С. Бибишкин, И.Г. Забродин, Е.Б. Клюенков, Н.Н. Салащенко, Д.П. Чехонадских, Н.И. Чхало. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2, 41 (2003)
  16. P.A. Grunow, L.E. Klebanoff, S. Graham Jr., S.J. Haney, W.M. Clift. Proceed. SPIE, 5037, 418 (2003). www.oxfordxtg.com/products/micro.htm
  17. В.Н. Полковников, С.А. Гарахин, Д.С. Квашенников, И.В. Малышев, Н.Н. Салащенко, М.В. Свечников, Р.М. Смертин, Н.И. Чхало. ЖТФ, 90 (11), 1893 (2020). DOI: 10.21883/JTF.2020.11.49980.143-20 [V.N. Polkovnikov, S.A. Garakhin, D.S. Kvashennikov, I.V. Malyshev, N.N. Salashchenko, M.V. Svechnikov, R.M. Smertin, N.I. Chkhalo. Tech. Phys., 65 (11), 1809 (2020). DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784220110225]
  18. V.N. Polkovnikov, R.A. Shaposhnikov, S.Yu. Zuev,  M.V. Svechnikov, M.G. Sertsu, A. Sokolov, F. Schafers, N.I. Chkhalo. Opt. Express, 30 (11), 19332 (2022). DOI: 10.1364/OE.448069
  19. R.A. Shaposhnikov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, N.I. Chkhalo, S.Yu. Zuev. Opt. Lett., 47 (17), 4351 (2022). DOI: 10.1364/OL.469260
  20. R.M. Smertin, N.I. Chkhalo, M.N. Drozdov, S.A. Garakhin, S.Yu. Zuev, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, P.A. Yunin. Opt. Express, 30 (26), 46749 (2022). DOI: 10.3367/UFNr.2019.05.038623

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme