Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Многослойные структуры на основе Ni для зеркал гебелевского типа

Министерство образования и науки Российской Федерации, 075-15-2021-1362

Дуров К.В.

¹, Полковников В.Н.¹, Чхало Н.И.¹, Ахсахалян А.А.¹, Малышев И.В.¹

¹Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia

Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia

Email: zevs2801@mail.ru

Поступила в редакцию: 7 мая 2024 г.

В окончательной редакции: 7 мая 2024 г.

Принята к печати: 7 мая 2024 г.

Выставление онлайн: 27 июля 2024 г.

PDF версия

Абстракт
Литература

Впервые исследованы характеристики многослойной структуры Ni₈₀Mo₂₀/Si, перспективной для изготовления зеркал Гебеля. Определены структурные параметры многослойной структуры. Показано, что величины переходных областей для σ(Ni₈₀Mo₂₀) и σ(Si) составляют 5 и 8.5 Angstrem соответственно. Найден состав структур, при котором достигалась лучшая отражательная способность R=69.5-56.1% для периодов 41.5-32 Angstrem. Ключевые слова: многослойные рентгеновские зеркала, магнетронное напыление, гебелевские зеркала.

M. Schuster, H. Gobel. J. Phys. D: Appl. Phys., 28, 270 (1995). DOI: 10.1088/0022-3727/28/4A/053
Э.П. Кругляков, А.Д. Николенко, Е.П. Семенов, Е.Д. Чхало, Н.И. Чхало. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 1, 151 (1999)
D.L. Windt, F.E. Christensen, W.W. Craig, C. Hailey, F.A. Harrison, M. Jimenez-Garate, R. Kalyanaraman, P.H. Mao. J. Аppl. Рhys., 88 (1), 460 (2000)
A.V. Andreev, A.G. Michette, A. Renwick. J. Modern Opt., 35, 1667 (1988)
O. Renner, M. Kopecky, E. Krousky, F. Schafers, B.R. Muller, N.I. Chkhalo. Rev. Sci. Instrum., 63 (1), 1478 (1992). DOI: 10.1063/1.1143047
M. Svechnikov. J. Appl. Crystallogr., 53 (1), 244 (2020)
B.L. Henke, E.M. Gullikson, J.C. Davis. Atomic Data Nucl. Data Tables, 54 (2), 181 (1993)
H. Takenaka, T. Kawamura, H. Kinoshita. Thin Solid Films, 288 (1-2), 99 (1996). DOI: 10.1016/S0040-6090(96)08837-2
C. Sella, K. Youn, R. Barchewitz, M. Arbaoui, R. Krishnan. Appl. Surf. Sci., 33--34, 1208 (1988). DOI: 10.1016/0169-4332(88)90436-9
M. Cilia, J. Verhoeven. J. Appl. Phys., 82, 4137 (1997). DOI: 10.1063/1.366213
D.G. Stearns. Appl. Phys. Lett., 62 (15), 1745 (1993)
G. Palasantzas. Phys. Rev. B, 48 (19), 14472 (1993)

Учредители

Издатель