Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Послойный анализ многослойных неоднородных ультратонких пленок с субнанометровым разрешением
Государственное задание министерства науки и высшего образования Российской Федерации, FSWF-2023-0016
Лубенченко А.В.
1, Лубенченко О.И.1, Иванов Д.А.1, Лукьянцев Д.С.1, Паволоцкий А.Б.2, Павлов О.Н.1, Иванова И.В.1
1НИУ Московский энергетический институт, Москва, Россия 
2Chalmers University of Technology, Goteborg, Sweden
2Chalmers University of Technology, Goteborg, Sweden
Email: lubenchenkoav@mpei.ru, IvanovaOlI@mpei.ru, IvanovDA@mpei.ru, LukyantsevDS@mpei.ru, alexey.pavolotsky@chalmers.se, pavlovthin@yandex.ru, IvanovaIV@mpei.ru
Поступила в редакцию: 8 апреля 2024 г.
В окончательной редакции: 8 апреля 2024 г.
Принята к печати: 8 апреля 2024 г.
Выставление онлайн: 27 июля 2024 г.
Предложен комплексный in situ метод неразрушающего количественного послойного химического фазового анализа многослойных многокомпонентных ультратонких пленок с субнанометровой точностью до глубин несколько десятков нанометров, основанный на рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии с угловым разрешением и спектроскопии характеристических потерь энергии фотоэлектронов. Проведен послойный химический фазовый анализ ультратонких пленок ниобия и нитрида ниобия, окисленных на воздухе. Ключевые слова: рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, послойный химический фазовый анализ, вычитание фона рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, разложение рентгеновской фотоэлектронной спектральной линии.
- R.E. Galindo, R. Gago, D. Duday, C. Palacio. Analyt. Bioanalyt. Chem., 396 (8), 2725 (2010). DOI: 10.1007/s00216-009-3339-y
- A.V. Lubenchenko, A.A. Batrakov, A.B. Pavolotsky, O.I. Lubenchenko, D.A. Ivanov. Appl. Surf. Sci., 427, 711 (2018). DOI: 10.1016/j.apsusc.2017.07.256
- S. Tougaard. Surf. Sci., 216 (3), 343 (1989). DOI: 10.1016/0039-6028(89)90380-4
- S. Tougaard. J. Electron Spectr. Related Phenomena, 178-179, 128 (2010). DOI: 10.1016/j.elspec.2009.08.005
- M. Vos, P.L. Grande. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Section B: Beam Interac-tions with Materials and Atoms, 407, 97 (2017). DOI: 10.1016/j.nimb.2017.05.064
- S. Doniach, M. Sunjic. J. Phys. C: Solid State Phys., 3 (2), 285 (1970). DOI: 10.1088/0022-3719/3/2/010
- J.F. Moulder, W.F. Stickle, P.E. Sobol, K.D. Bomben. Handbook of X Ray Photoelectron Spectroscopy: A Reference Book of Standard Spectra for Identification and Interpretation of XPS Data (Physical Electronics, 1979)
- A.V. Naumkin, A. Kraut-Vass, C.J. Powell. NIST X-ray Рhotoelectron Spectroscopy Database (2008)
- A.R. Miedema, R. Boom, F.R. De Boer. J. Less Common Metals, 41 (2), 283 (1975). DOI: 10.1016/0022-5088(75)90034-X
- S. Badrinarayanan, S. Sinha. J. Appl. Phys., 69 (3), 1141 (1991). DOI: 10.1063/1.347294
- K. Artyushkova, B. Kiefer, B. Halevi, A. Knop-Gericke, R. Schlogl, P. Atanassov. Chem. Commun., 49 (25), 2539 (2013). DOI: 10.1039/C3CC40324F
- J. Zemek, J. Houdkova, P. Jiricek, T. Izak, M. Kalbac. Appl. Surf. Sci., 491, 16 (2019). DOI: 10.1016/j.apsusc.2019.06.083
- A. Jablonski. Surf. Sci., 688, 14 (2019). DOI: 10.1016/j.susc.2019.05.004
- S. Krause, V. Afanas'ev, V. Desmaris, D. Meledin, A. Pavolotsky, V. Belitsky, A. Lubenschenko, A. Batrakov, M. Rudzinski, E. Pippel. IEEE Transactions Appl. Superconduct., 26 (3), 1 (2016). DOI: 10.1109/TASC.2016.2529432
