Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Вставное устройство для EUV-литографии на источнике синхротронного излучения четвертого поколения
1Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера СО РАН, Новосибирск, Россия 
2Новосибирский национальный исследовательский государственный университет, Новосибирск, Россия
3Сибирский государственный университет телекоммуникации и информатики, Новосибирск, Россия
2Новосибирский национальный исследовательский государственный университет, Новосибирск, Россия
3Сибирский государственный университет телекоммуникации и информатики, Новосибирск, Россия
Email: murzina.anastasiia@yandex.ru
Поступила в редакцию: 23 апреля 2024 г.
В окончательной редакции: 23 апреля 2024 г.
Принята к печати: 23 апреля 2024 г.
Выставление онлайн: 27 июля 2024 г.
Рассмотрена оптимизация устройств генерации синхротронного излучения из кольцевого источника четвертого поколения для EUV-литографии. Определены оптимальные длины периодов и проведено сравнение вставных устройств типа APPLE-II и Delta в режимах круговой и линейной поляризации по спектральным, мощностным характеристикам, размерам источника и угловой расходимости. Получены средние значения мощности рабочей гармоники порядка 6 W для круговой поляризации и порядка 2.6 W - для линейной. Оценены когерентные свойства генерируемого излучения: рассчитаны доли когерентных фотонов и построены поперечные функции когерентности. Ключевые слова: синхротронное излучение, EUV-литография, СКИФ, когерентность, линейная поляризация, круговая поляризация.
- B. Hansson. Laser-Plasma Sources for Extreme-Ultraviolet Lithography (Fysik, Stockholm, 2003)
- Е.Б. Левичев, А.Н. Журавлев, К.В. Золотарев, Я.В. Зубавичус, К.И. Шефер. Технологическая инфраструктура сибирского кольцевого источника фотонов "СКИФ", 1, 8 (2022)
- N.I. Chkhalo, N.N. Salashchenko. J. Surf. Investig., 17, 307 (2023). DOI: 10.1134/S1027451022060349
- A. Thiel, M. Ebbeni, H. Tarawneh. Veritas, 48, 6 (2018). DOI: 10.18429/JACoW-MEDSI2018-TUOPMA04
- A.B. Temnykh. Phys. Rev. ST Accel. Beams, 11 (12), 120702 (2008). DOI: 10.1103/PhysRevSTAB.11.120702
- R. Carr. Nucl. Instr. Meth., 306 (1-2), 391 (1991). DOI: 10.1016/0168-9002(91)90346-R
- A.B. Temnykh. Nucl. Instr. Meth., 587 (1), 13 (2008). DOI: 10.1016/j.nima.2008.01.002
- М.М. Барышева, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало. УФН, 182 (7), 727 (2012). DOI: 10.3367/UFNr.0182.201207c.0727 [M.M. Barysheva, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, N.I. Chkhalo. Phys. Usp., 55 (7), 681 (2012). DOI: 10.3367/UFNe.0182.201207c.0727]
- OPERA. Электромагнитная и электромеханическая симуляция. URL: https://www.3ds.com/ru/produkty-i-uslugi/simulia/produkty/opera/ (дата обращения: 02.03.2024)
- T. Meinander. CAS CERN Аccelerator School: 5th General Accelerator Physics Course Proc. (CERN, Geneva, 1994), v. 2, p. 983
- T. Tanaka, H. Kitamura. J. Synchrotron Rad., 8 (6), 1221 (2001). DOI: 10.1107/S090904950101425X
- А.В. Акимов, Ю.С. Актершев, В.В. Анашин, А.В. Андрианов, О.В. Анчугов, М.В. Арсентьева, П.А. Бак, Г.Н. Баранов, А.М. Барняков, А.М. Батраков, О.В. Беликов, Л.Л. Белова, Е.А. Бехтенев, В.И. Бухтияров, А.В. Богомягков, В.М. Борин, Д.Б. Буренков, Д.С. Винник, В.Н. Волков, Е.С. Вонда, К.М. Горчаков, К.А. Гришина, Д.С. Гуров, С.М. Гуров, Г.А. Гусев, Б.А. Довженко, В.Л. Дорохов, Е.Н. Дементьев, А.И. Ерохин, А.А. Жариков, К.В. Жиляев, А.А. Жуков, А.Н. Журавлев, К.В. Золотарев, Н.А. Золотухина, Я.В. Зубавичус, С.Е. Карнаев, Г.В. Карпов, К.Ю. Карюкина, В.Д. Кашкин, В.А. Киселев, В.В. Кобец, Е.С. Котов, В.Я. Корчагин, А.А. Краснов, В.С. Крапивин, С.А. Крутихин, В.С. Кузьминых, Г.Н. Кулипанов, И.В. Купцов, Г.Я. Куркин, А.Е. Левичев, Е.Б. Левичев, Д.В. Лешонок (Дорохова), П.В. Логачев, Ю.И. Мальцева, Ма Сяо Чао, Н.А. Мезенцев, О.И. Мешков, Н.В. Митянина, И.А. Морозов, А.А. Морсин, С.А. Никитин, Д.А. Никифоров, В.К. Овчар, И.Н. Окунев, А.В. Павленко, О.А. Павлов, А.Ю. Пахомов, В.М. Петров, С.Л. Пивоваров, П.А. Пиминов, А.В. Полянский, Д.Н. Пурескин, Д.Ф. Решетов, В.В. Репков, Е.А. Ротов, Т.В. Рыбицкая, С.Л. Самойлов, И.К. Седляров, А.М. Семенов, Д.В. Сеньков, Л.Е. Сердаков, Ш.Р. Сигнатулин, С.В. Синяткин, М.А. Скамароха, А.А. Старостенко, А.Г. Трибендис, А.В. Уткин, М.Г. Федотов, А.С. Цыганов, А.Д. Чернякин, И.Н. Чуркин, С.В. Шиянков, Д.А. Шведов, В.А. Шкаруба, К.С. Штро, Н.С. Щегольков. Технологическая инфраструктура сибирского кольцевого источника фотонов "СКИФ", 2, 98 (2022)
- G. Geloni, E. Saldin, E. Schneidmiller, M. Yurkov. Nucl. Instr. Meth., 588 (3), 463 (2008). DOI: 10.1016/j.nima.2008.01.089
- T. Tanaka. Opt. Lett., 42 (8), 1576 (2017). DOI: 10.1364/OL.42.001576
- I. Agapov, G. Geloni, S. Tomin, I. Zagorodnov. Nucl. Instr. Meth., 768, 151 (2014). DOI: 10.1016/j.nima.2014.09.057
- F. Gori, M. Santarsiero, S. Vicalvi, R. Borghi, G. Guattari. Pure Appl. Opt., 7 (5), 941 (1998). DOI: 10.1088/0963-9659/7/5/004
