Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2019, выпуск 11 » Статья стр. 1789
<<<>>>
Ошибки измерений интерферометров с дифракционной волной сравнения
DOI: 10.21883/JTF.2019.11.48346.115-19
Переводная версия: 10.1134/S1063784219110021
Ахсахалян А.А.1, Гаврилин Д.А.1, Малышев И.В.1, Салащенко Н.Н.1, Торопов М.Н.1, Уласевич Б.А.1, Цыбин Н.Н.1, Чхало Н.И.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: toropov@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 28 марта 2019 г.
В окончательной редакции: 28 марта 2019 г.
Принята к печати: 15 апреля 2019 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2019 г.
PDF версия
Описаны экспериментальный стенд и результаты исследований аберраций источников эталонной сферической волны (ИЭСВ) на основе одномодового оптического волокна с субволновой выходной апертурой с использованием оптической части регистрирующей системы (ОЧРС). ИЭСВ и ОЧРС разрабатываются для безэталонного интерферометра с дифракционной волной сравнения. Описаны методики, позволяющие минимизировать ошибки измерений. Разработанные ИЭСВ и ОЧРС обеспечивают субнанометровую точность измерений оптики. Обсуждены возможности повышения точности измерений интерферометра до пикометрового уровня. Ключевые слова: интерферометрия, аберрация, дифракционная волна сравнения, оптоволокно.
  1. Malacara D. Optical shop testing. 2nd ed. NY.: John Wiley \& Sons, Inc., 1992
  2. Официальный вебсайт Zygo Corporation. URL: http://www.zygo.com
  3. Barysheva M.M., Chkhalo N.I., Pestov A.E., Salashchenko N.N., Toropov M.N., Zorina M.N. Fundamentals of Picoscience / Ed. Klaus D. Sattler, CRC Press, 2013. P. 595
  4. Rhee H.-G., Kihm H., Yang H.-S., Ghim Y.-S., Lee Y.-W. // J. Korean Phys. Society. 2014. Vol. 65. N 9. P.1385-1389
  5. Malyshev I.V., Chkhalo N.I., Toropov M.N., Salashchenko N.N., Pestov A.E., Kuzin S.V., Polkovnikov V.N. // Proc. SPIE. 2017. Vol. 10235. P. 102350C
  6. Sommargren G.E. // Laser Focus World. 1996. Vol. 8. P. 61-71
  7. Naulleau P.P., Goldberg K.A., Lee S.H., Chang C., Attwood D., Bokor J. // Appl. Opt. 1999. Vol. 38. N 35. P. 7252-7263
  8. Otaki K., Ota K., Nishiyama I., Yamamoto T., Fukuda Y., Okazaki S. // J. Vac. Sci. Technol. B. 2002. Vol. 20. N 6. P. 2449-2458
  9. Chkhalo N.I., Pestov A.E., Salashchenko N.N., Toropov M.N. Lithography / Ed. Michael Wang, INTECH. (2010). URL: http://sciyo.com/articles/show/title/manufacturing-and-investi- gating-objective-lens-for-ultrahigh-resolution-lithography-faci- lities
  10. Салащенко Н.Н., Торопов М.Н., Чхало Н.И. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2008. N 7. С. 3-5
  11. Барышева М.М., Пестов А.Е., Салащенко Н.Н., Торопов М.Н., Чхало Н.И. // УФН. 2012. Т. 182. N 7. С. 727-747
  12. Chkhalo N.I., Klimov A.Yu., Rogov V.V., Salashchenko N.N., Toropov M.N. // Rev. Sci. Instrum. 2008. Vol. 79. P. 033107
  13. Chkhalo N.I., Malyshev I.V., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Salashchenko N.N., Toropov M.N., Soloviev A.A. // Appl. Opt. 2016. Vol. 55. N 3. P. 619-625
  14. Wang D., Chen X., Xu Y., Wang F., Kong M., Zhao J., Zhang B. // Opt. Express. 2014. Vol. 22. N 21. P. 25550-25559
  15. Svechnikov М.V., Chkhalo N.I., Toropov M.N., Salashchenko N.N., Zorina M.V. // Opt. Lett. 2015. Vol. 40. N 2. P. 159-162
  16. Wang D., Xu Y., Liang R., Kong M., Zhao J., Zhang B., Li W. // Opt. Express. 2016. Vol. 24. N 7. P. 7079-7090
  17. Svechnikov M.V., Chkhalo N.I., Toropov M.N., Salashchenko N.N. // Opt. Express. 2015. Vol. 23. N 11. P. 14677-14694
  18. Mahajan V.N. // Proc. SPIE. 2003. Vol. 5173. P. 1-17

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme