Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2019, выпуск 11 » Статья стр. 1783
<<<>>>
Влияние термического отжига на свойства многослойных зеркал Mo/Be
DOI: 10.21883/JTF.2019.11.48345.136-19
Переводная версия: 10.1134/S1063784219110252
Смертин Р.М.1, Гарахин С.А.1, Зуев C.Ю.1, Нечай А.Н.1, Полковников Н.В.1, Салащенко Н.Н.1, Свечников М.В.1, Sertsu M.G.2, Sokolov A.2, Чхало Н.И.1, Schafers F.2, Юнин П.А.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Helmholtz-Zentrum Berlin, Albert-Einstein-Strab e 15, Berlin, Germany
Email: smertin_ruslan@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 28 марта 2019 г.
В окончательной редакции: 28 марта 2019 г.
Принята к печати: 15 апреля 2019 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2019 г.
PDF версия
Рассмотрены эффекты термического воздействия на рентгенооптические характеристики, структуру пленок и переходных областей в многослойных зеркал Mo/Be, оптимизированных на максимум отражения в окрестности длины волны 11.2-11.4 nm при нормальном падении. Температура отжига изменялась в пределах до 300oC, время отжига составляло 1 и 4 h. Показано, что в результате термического отжига в течение 1 h в вакууме при температуре 300oC наблюдается увеличение коэффициента отражения, однако с увеличением времени отжига до 4 h коэффициент отражения падает. Наблюдается уменьшение размеров кристаллитов в пленках молибдена с одновременной перестройкой профиля переходных областей от экспоненциального к линейному. Период многослойных зеркал не изменялся при всех режимах отжига. Ключевые слова: многослойные зеркала, пленки, межслоевые области, термическая стабильность, рентгеновское излучение.
  1. Admans G., Berkvens P., Kaprolat A., Revol J.-L. // ESRF upgrade programme phase II (201-2022). technical design study.: Imprimerie de Pont de Claix © ESRF, December 2014. 192 p
  2. Stormer M., Siewert F., Horstmann C., Buchheim J., Gwalt G. // Coatings for FEL Optics. 2018. Vol. 25. P. 116-122
  3. Bowering N.R., Fomenkov I.V., Brandt D.C., Bykanov A.N., Ershov A.I., Partlo W.N., Myers D.W., Farrar N.R., Vaschenko G.O., Khodykin O.V., Hoffman J.R., Chrobak C.P., Srivastava S.N., Ahmad I., Rajyaguru C. Golich D. Vidusek D.A. Dea S., De Hou R.R. // J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS. 2009. Vol. 8. N 4. P. 041504-1
  4. Chkhalo N.I., Fedorchenko M.V., Kovalenko N.V., Kruglyakov E.P., Volokhov A.I., Chernov V.A., Mytnichenko S.V. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. A. 1995. Vol. 359. P. 121-126
  5. Kriese M., Platonov Yu., Ehlers B., Jiang L., Rodriguez J., Mueller U., Daniel J., Khatri S., Magruder A., Grantham S., Tarrio C., Lucatorto T. // Proc. SPIE. 2014. Vol. 9048. P. 90483C
  6. Yulin S., Benoit N., Feigl T., Kaiser N. // Proc. SPIE. 2005. Vol. 5751. P. 1155
  7. Feigl T., Yulin S., Benoit N., Perske M., Schormann M., Kaiser N., Bowering N.R., Khodykin O.V., Fomenkov I.V., Brandt D.C. // Proc. SPIE. 2008. Vol. 7077. P. 70771W
  8. Конотопский Л.Е., Копылец И.А., Севрюкова В.А., Зубарев Е.Н., Кондратенко В.В. // Metallofiz. Noveishie Tekhnol. 2016. Т. 38. N 6. C. 825-838
  9. Montcalm C., Bajt S., Mirkarimi P., Spiller E., Weber F., Folta J. // SPIE. 1998. Vol. 3331. P. 42-51
  10. Svechnikov M.V., Chkhalo N.I., Gusev S.A., Nechay A.N., Parie, D.E., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Tatarskiy D.A., Salashchenko N.N., Schafers F., Sertsu M.G., Sokolov A., Vainer Y.A., Zorina M.V. // Opt. Express. 2018. Vol. 26. N 26. P. 33718
  11. Bogachev S.A., Chkhalo N.I., Kuzin S.V., Pariev D.E., Polkovnikov V.N., Salashchenko N.N., Shestov S.V., Zuev S.Y. // Appl. Opt. 2016. Vol. 55. N 9. P. 2126-2135
  12. Салащенко Н.Н., Чхало Н.И., Дюжев Н.А. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2018. N 10. C. 10-20
  13. Лякишева Н.П. // Диаграммы состояния двойных металлических систем. Т.1. 1996. С. 587- 589
  14. Самсонов Г.В. // Бериллиды. 1996. C. 45-47
  15. Гладышевский Е.И., Бодак О.И. // Вопросы теории и применения редкоземельных металлов. 1994
  16. Lewis J.J. // Metals. 1961. Vol. 13. P. 357
  17. Марковский Л.Я., Кондрашев Ю.Д., Капутовская Г.В. // ЖОХ. 1955. Т. 2. C. 1045
  18. Bajt S. // J. Vacuum Sci. Technol. A. 2000. Vol. 18. N 2. P. 557-559
  19. Nechay A.N., Chkhalo N.I., Drozdov M.N., Garakhin S.A., Pariev D.E., Polkovnikov V.N., Salashchenko N.N., Svechnikov M.V., Vainer Yu.A., Meltchakov E., Delmotte F. // AIP Advances. 2018. Vol. 8 P. 075202
  20. Svechnikov M., Pariev D., Nechay A., Salashchenko N., Chkhalo N., Vainer Y., Gaman D. // J. Appl. Crystall. 2017. Vol. 50. N 5. P. 1428-1440
  21. Гарахин С.А., Забродин И.Г., Зуев С.Ю., Каськов И.А., Лопатин А.Я., Нечай А.Н., Полковников В.Н., Салащенко Н.Н., Цыбин Н.Н., Чхало Н.И. // Квантовая электроника. 2017. Т. 47. N 4. С. 385-392
  22. Sokolov A., Bischoff P., Eggenstein F., Erko A., Gaupp A., Kunstner S., Mast M., Schmidt J.-S., Senf F., Siewert F., Zeschke T., Schafers F. // Rev. Sci. Instrum. 2016. Vol. 87. P. 052005
  23. Андреев C.C., Барышева M.M., Чхало Н.И., Гусев С.А., Пестов А.Е., Полковников В.Н., Рогачев Д.Н., Салащенко Н.Н., Вайнер Ю.А., Зуев С.Ю. // ЖТФ. 2010. Т. 80. Вып. 8. С. 93-100
  24. Kuznetsov D. S., Yakshin A.E., Sturm J.M., van de Kruijs R.W.E., Louis E., Bijkerk F. // Opt. Lett. 2015. Vol. 40. N 16. P. 3778
  25. Chernov V.A., Chkhalo N.I., Fedorchenko M.V., Kruglyakov E.P., Mytnichenko S.V., Nikitenko S.G. // J. X-Ray Sci.Technol. 1995. Vol.5. P. 389-395
  26. Windt D.L. // J. Vac. Sci. Technol. 2000. Vol. 18. N 3. P. 980-991.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme