"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Инфракрасная спектроскопия алмазоподобных кремний-углеродных пленок
Горшунов Б.П.1, Шупегин М.Л.1, Иванов В.Ю.1, Прохоров А.С.1, Спектор И.Е.1, Волков А.А.1
1Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, Москва, Россия
Email: gorshunov@ran.gpi.ru
Поступила в редакцию: 26 июля 2007 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2008 г.

Выполнены первые измерения инфракрасных спектров металлосодержащих алмазоподобных кремний-углеродных пленок. Показано, что оптический отклик подсистемы свободных носителей заряда в металлосодержащих (хром) пленках может быть описан в рамках простой модели, рассматривающей носители, локализованные внутри кластеров размером несколько нанометров. Полученные результаты свидетельствуют о возможности управления электрическими и диэлектрическими свойствами пленок с помощью технологических методов их синтеза и соответствующего контроля за размерами, концентрацией и проводимостью металлических нанокластеров. PACS: 77.84.Lf, 78.67.-n
  • Dorfman V.F., Pypkin B.N. // Surf. Coat. Technol. 1991. Vol. 48. P. 198
  • Dorfman V.F. et al. // Thin Solid Films. 1992. Vol. 2129. P. 274
  • Dorfman V.F. et al. // Thin Solid Films. 1998. Vol. 330. P. 76
  • Божко А.Д., Шупегин М.Л. // Тр. XI межнац. совещания "Радиационная физика твердого тела". Севастополь, 2001. С. 377
  • Kozlov G., Volkov A. // Topics in Appl. Phys. Vol. 74 / Ed. by G. Gruner. Berlin: Springer--Verlag, 1998
  • Волков А. и др. // ЖЭТФ. 1989. Т. 95. Вып. 1. С. 261
  • Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1970
  • Соколов А.В. Оптические свойства металлов. М.: Наука, 1961
  • Rice M.J., Bernasconi J. // J. of Phys. F. 1973. Vol. 3. N 1. P. 55
  • Ignatov A.A. // Sol. St. Com. 1982. Vol. 41. N 6. P. 495
  • Мосс Т., Баррел Е., Эллис Б. Полупроводниковая оптоэлектроника. М.: Мир, 1979
  • Dorfman V.F. // Thin Solid Films. 1992. Vol. 212. P. 267
  • Васильева Н.Д., Воронцов В.Н., Попов А.И., Шупегин М.Л. // Тр. IV Междунар. конф. "Аморфные и микрокристаллические полупроводники". СПб.: Изд-во СПбГПУ, 2004. С. 109
  • Мотт Н., Дэвич Э. Электронные процессы в некристаллических веществах. М.: Мир, 1982
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.