Для точной передачи неглубоких треугольных профилей и сохранения безупречных характеристик дифракционных решеток с блеском, предназначенных для использования в рентгеновских приборах, включая синхротроны четвертого поколения и рентгеновские лазеры на свободных электронах, были использованы атомно-уровневые бесконтактные методы нанесения металлов на поверхность штрихов. Предложенный нами способ позволяет воспроизводить наноразмерные треугольные профили штрихов, сохраняя при этом угол блеска и субатомную шероховатость, тем самым обеспечивая минимальное поглощение и рассеяние рентгеновского излучения. Профили Si-мастер-решеток с плотностью штрихов 250 mm^-1, углами блеска ~1 и ~4 ^o, глубиной штриха 60 и 230 nm были успешно перенесены в слой золота термическим напылением. В качестве выравнивающего слоя использовали никель гальванического осаждения. Ключевые слова: рентгеновский диапазон, дифракционная Si-решетка с блеском, треугольный профиль штриха, нанокопирование, металлическая реплика решетки, атомно-силовая микроскопия, растровая электронная микроскопия.