Влияние типа подложки-носителя на резистивные и оптические свойства AlGaAs/GaInAs светоизлучающих инфракрасных диодов
Малевская А.В.
1, Калюжный Н.А.
1, Салий Р.А.
1, Солдатенков Ф.Ю.
1, Малевский Д.А.
1, Андреев В.М.
11Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия

Email: amalevskaya@mail.ioffe.ru, nickk@mail.ioffe.ru, r.saliy@mail.ioffe.ru, f.soldatenkov@mail.ioffe.ru, dmalevsky@scell.ioffe.ru, vmandreev@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 6 мая 2025 г.
В окончательной редакции: 30 сентября 2025 г.
Принята к печати: 6 октября 2025 г.
Выставление онлайн: 5 января 2026 г.
Выполнены исследования различных конструкций светоизлучающих инфракрасных (840 nm) диодов на основе AlGaAs/GaInAs-гетероструктур с множественными квантовыми ямами, выращенных методом МОС-гидридной эпитаксии. Снижение оптических потерь излучения в светоизлучающих диодах достигнуто при встраивании в конструкцию многослойных комбинированных отражателей путем переноса тонких слоев гетероструктуры на подложку-носитель на основе полупроводникового материала (Si, GaAs) или металла (Cu, Au). Проведен анализ влияния конструкций прибора на характеристики светоизлучающих диодов. Максимальные значения эффективности 46 % при плотности тока 10-20 A/cm2 достигнуты в приборах на GaAs-подложке-носителе. Снижение резистивных потерь и увеличение оптической мощности до 730 mW при рабочем токе 1.2 A получено в приборах на металлической подложке-носителе. Ключевые слова: инфракрасный светоизлучающий диод, AlGaAs/GaInAs-гетероструктура, подложка-носитель.
- M. Vasilopoulou, A. Fakharuddin, F.P. Arquer, D.G. Georgiadou, H. Kim, A.R. Yusoff, F. Gao, М.K. Nazeeruddin, H.J. Bolik, E.H. Sargent. Nat. Photon., 15, 656 (2021). DOI: 10.1038/s41566-021-00855-2
- A.G. Entrop, A. Vasenev. Energy Proc., 132, 63 (2017). DOI: 10.1016/j.egypro.2017.09.636
- М. Kitamura, Т. Imada, S. Kako, Y. Arakawa, Y. Jpn. J. Appl. Phys., 43, 2326 (2004). DOI: 10.1143/JJAP.43.2326
- L. Han, М. Zhao, X. Tang, W. Huo, Zh. Deng. J. Appl. Phys. V, 127, (2020). DOI: 10.1063/1.5136300
- Y. Yu, X. Qin, B. Huang, J. Weia, H. Zhou, J. Pan, W. Chen, Yun Qi, X. Zhang, Z. Ren. Vacuum, 69, 489 (2003). DOI: 10.1016/S0042-207X(02)00560-2
- Su-Chang Ahn, Byung-Teak Lee, Won-Chan An, Dae-Kwang Kim, In-Kyu Jang, Jin-Su So, Hyung-Joo Lee. J. Korean Phys. Soc., 69 (1), 91 (2016). DOI: 10.3938/jkps.69.91
- H.-J. Lee, G.-H. Park, J.-S. So, Ch.-H. Lee, J.-H. Kim, L.-K. Kwac. Infrared Phys. Technol., 118, 103879 (2021). DOI: 10.1016/j.infrared.2021.103879
- H.-J. Lee, I.-K. Jang, D.-K. Kim, Y.-J. Cha, S.W. Cho. Мicromachines, 13, 695 (2022). DOI: 10.3390/mi13050695
- H.-J. Lee, G.-H. Park, J.-S. So, J.-H. Kim, H.-G. Kim, L.-K. Kwac. Current Appl. Phys., 22, 36 (2021). DOI: 10.1016/j.cap.2020.12.002
- E.F. Shubert. Light-Emitting Diodes (second edition) (Cambridge University Press, 2006)
- А.В. Малевская, Н.А. Калюжный, Д.А. Малевский, С.А. Минтаиров, А.М. Надточий, М.В. Нахимович, Ф.Ю. Солдатенков, М.З. Шварц, В.М. Андреев. ФТП, 55 (8), 699 (2021). DOI: 10.21883/FTP.2021.08.51143.9665 [A.V. Мalevskaya, N.A. Kalyuzhnyy, D.A. Мalevskii, S.A. Мintairov, A.M. Nadtochiy, М.V. Nakhimovich, F.Y. Soldatenkov, М.Z. Shvarts, V.M. Andreev. Semiconductors, 55 (8), 686 (2021). DOI: 10.1134/S1063782621080121]
- N.A. Kalyuzhnyy, A.V. Мalevskaya, S.A. Мintairov, М.A. Mintairov, М.V. Nakhimovich, R.A. Salii, М.Z. Shvarts, V.M. Andreev. Sol. Energy Мater. Sol. Cells, 262, 112251 (2023). DOI: 10.1016/j.solmat.2023.112551
- А.В. Малевская, Н.А. Калюжный, Р.А. Салий, Ф.Ю. Солдатенков, М.В. Нахимович, Д.А. Малевский. Письма в ЖТФ, 50 (18), 22 (2024). DOI:10.61011/PJTF.2024.18.58625.19946
- A.V. Мalevskaya, F.Yu. Soldatenkov, R.V. Levin, N.A. Kalyuzhnyy, М.Z. Shvarts. Vacuum, 233, 114030 (2025). DOI: 10.1016/j.vacuum.2025.114030
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.