Вышедшие номера
Комментарий к статье А.И. Толмачева и Л. Форлано Зависимость коэффициента распыления от угла падения ионов на поверхность мишени" (2022, Т. 92. Вып. 5, С. 660-664)
Шульга В.И.1
1Skobeltsyn Institute of Nuclear Physics, Lomonosov Moscow State University, Moscow, Russia
Email: vish008@yandex.ru
Поступила в редакцию: 10 июня 2023 г.
В окончательной редакции: 10 июня 2023 г.
Принята к печати: 14 августа 2023 г.
Выставление онлайн: 26 сентября 2023 г.

Представлен критический анализ подхода, примененного А.И. Толмачевым и Л. Форлано в работе, опубликованной в ЖТФ, 92 (5), 660 (2022), к решению задачи о ионном распылении твердых тел. Ключевые слова: распыление, угловая зависимость коэффициента распыления, компьютерное моделирование, программа PAOLA, программа SRIM, транспортное уравнение, парные столкновения.
  1. А.И. Толмачев, Л. Форлано. ЖТФ, 92 (5), 660 (2022). DOI: 10.21883/JTF.2022.05.52369.2-22 [A.I. Tolmachev, L. Forlano. Tech. Phys., 67 (5), 555 (2022). DOI: 10.21883/TP.2022.05.53670.2-22]
  2. J.F. Ziegler, J.P. Biersack, M.D. Ziegler. SRIM --- The Stopping and Ranges of Ions in Solids (SRIM Co., Chester, 2008), http://www.srim.org
  3. V.I. Shulga. Appl. Surf. Sci., 439, 456 (2018). DOI: 10.1016/j.apsusc.2018.01.039
  4. M. Hou, M.T. Robinson. Appl. Phys., 18, 381 (1979). DOI: 10.1007/BF00899692
  5. J.P. Biersack, W. Eckstein. Appl. Phys. A, 34, 73 (1984). DOI: 10.1007/BF00614759
  6. Y. Yamamura, C. Mossner, H. Oechsner. Radiat. Eff., 103, 25 (1987). DOI: 10.1080/00337578708210060
  7. H.-B. Kim, G. Hobler, A. Lugstein, E. Bertagnolli. J. Micromech. Microeng., 17, 1178 (2007). DOI: 10.1088/0960-1317/17/6/011
  8. H. Hofsass, K. Zhang, A. Mutzke. Appl. Surf. Sci., 310, 134 (2014). DOI: 10.1016/j.apsusc.2014.03.152
  9. S. Lindsey, G. Hobler. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B, 303, 142 (2013). DOI: 10.1016/j.nimb.2012.12.087
  10. R.M. Bradley, G. Hobler. J. Appl. Phys., 133, 0653032 (2023). DOI: 10.1063/5.0137324
  11. В.М. Кивилис, Э.С. Парилис, Н.Ю. Тураев. ДАН СССР, 173, 805 (1967)
  12. V.E. Yurasova, V.I. Shulga, D.S. Karpuzov. Can. J. Phys., 46, 759 (1968)
  13. E.S. Wise, M.S. Liu, T. Miller. Comp. Mater. Sci., 107, 102 (2015). DOI: 10.1016/j.commatsci.2015.05.008
  14. V.I. Shulga. Appl. Surf. Sci., 458, 18 (2018). DOI: 10.1016/j.apsusc.2018.07.059
  15. M.T. Robinson. J. Appl. Phys., 54, 2650 (1983). DOI: 10.1063/1.332267

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.