Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Проект рентгенооптической схемы литографа с динамической маской пропускающего типа и синхротронным источником излучения
Переводная версия: 10.61011/TP.2023.07.56638.111-23 
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия 
2Научно-исследовательский центр Курчатовский институт, Москва, Россия
3Институт кристаллографии РАН им. А.В. Шубникова, Москва, Россия
2Научно-исследовательский центр Курчатовский институт, Москва, Россия
3Институт кристаллографии РАН им. А.В. Шубникова, Москва, Россия
Email: ilya-malyshev@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 3 мая 2023 г.
В окончательной редакции: 3 мая 2023 г.
Принята к печати: 3 мая 2023 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2023 г.
Предложена рентгенооптическая схема литографа с динамической маской пропускающего типа и синхротронным источником излучения. Изображение динамической маски в виде отверстий малого диаметра с уменьшением переносится на пластину с резистом с помощью проекционного объектива Шварцшильда. Формирование топологического рисунка планируется проводить за счет согласованной работы системы сканирования пластины с резистом и микроэлектромеханической системы пропускающего типа. Рассмотрены объективы с уменьшением 10 и 20 крат для получения 10-20 nm изображений 200 nm отверстий динамической маски. Рассчитана схема засветки маски, обеспечивающая однородную засветку на поле 10x 10 mm2. Для синхротрона Сибирь-2 КИСИ на поворотном магните ожидаемая производительность литографа составит до 1/14 пластины диаметром 100 mm в h. Ключевые слова: рентгеновская литография, рентгеновская оптика, многослойное зеркало, синхротронное излучение, аберрации.
- H. Kinoshita, K. Kurihara, Y. Ishii, Y. Torii. J. Vac. Sci. Technol. B: Microelectron. Processing and Phenomena, 7 (6), 1648 (1989). DOI: 10.1116/1.584507
- J.E. Bjorkholm, J. Bokor, L. Eichner, R.R. Freeman, J. Gregus, T.E. Jewell, W.M. Mansfield, A.A. Mac Dowell, E.L. Raab, W.T. Silfvast, L.H. Szeto, D.M. Tennant, W.K. Waskiewicz, D.L. White, D.L. Windt, O.R. Wood, J.H. Bruning. J. Vac. Sci. Technol. B: Microelectron. Processing and Phenomena, 8, 1509 (1990). DOI: 10.1116/1.585106
- G. Dattoli, A. Doria, G.P. Gallerano, L. Giannessi, K. Hesch, H.O. Moser, P.L. Ottaviani, E. Pellegrin, R. Rossmanith, R. Steininger, V. Saile, J. Wust. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment, 474 (3), 259 (2001)
- А.Н. Генцелев, Б.Г. Гольденберг, В.Ф. Пиндюрин. Способ проведения трафаретной сканирующей синхротронной рентгеновской литографии (Институт ядерной физики СО РАН, Патент RU 2344454 С1, 2009.01.20)
- K. Hesch, E. Pellegrin, R. Rossmanith, R. Steininger, V. Saile, J. Wust, G. Dattoli, A. Doria, G.P. Gallerano, L. Giannessi, P.L. Ottaviani, H.O. Moser. Conf.: Particle Accelerator Conference (Chicago, PAC, 1, 654,2001), DOI: 10.1109/PAC.2001.987596
- B. Jiang, Ch. Feng, Ch. Li, Z. Bai, W. Wan, D. Xiang, Q. Gu, K. Wang, Q. Zhang, D. Huang, S. Chen. Scientific Reports, 12, 3325 (2022)
- N. Choksi, D.S. Pickard, M. McCord, R.F.W. Pease, Y. Shroff, Y. Chen, W. Oldham, D. Markle. J. Vac. Sci. Technol., 17, 3047 (1999). DOI: 10.1116/1.590952
- N.I. Chkhalo, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov. Proc. SPIE, 10224, 102241O-1-O8 (2016)
- Г.Д. Демин, П.П. Ким, Н.А. Дюжев. Матер. XXVI Международного Международный симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника", 1, 544 (2022)
- Электронный ресурс. Режим доступа: http://kcsni.nrcki.ru/pages/main/sync/source/index.shtml
- А.Д. Николенко, А.В. Бухтияров, О.Е. Терещенко, К.В. Золотарев. Матер. XXVI Международного Международный симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника", 1, 572 (2022)
- И.В. Малышев, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Д.Г. Реунов, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало, Я.В. Ракшун, Ю.В. Хомяков, В.А. Чернов, И.А. Щелоков. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 5, 3 (2023)
- Электронный ресурс. Режим доступа: http://kcsni.nrcki.ru/files/pdf/otchet_2020.pdf
- N.I. Chkhalo, I.A. Kaskov, I.V. Malyshev, M.S. Mikhaylenko, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, I.G. Zabrodin. Precision Engineer., 48, 338 (2017). DOI: 10.1016/j.precisioneng.2017.01.004
- M.V. Svechnikov, N.I. Chkhalo, S.A. Gusev, A.N. Nechay, D.E. Pariev, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, D.A. Tatarskiy, N.N. Salashchenko, F. Schafers, M.G. Sertsu, A. Sokolov, Y.A. Vainer, M.V. Zorina. Opt. Expr., 26 (26), 33718 (2018). DOI: 10.1364/OE.26.033718
- R.M. Smertin, N.I. Chkhalo, M.N. Drozdov, S.A. Garakhin, S.Yu. Zuev, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, P.A. Yunin. Opt. Expr., 30 (26), 46749 (2022)
- N. Chkhalo, A. Lopatin, A. Nechay, D. Pariev, A. Pestov, V. Polkovnikov, N. Salashchenko, F. Schafers, M. Sertsu, A. Sokolov, M. Svechnikov, N. Tsybin, S. Zuev. J. Nanosci. Nanotechnol, 19, 546 (2019). DOI: 10.1166/jnn.2019.16474
- Электронный ресурс. Режим доступа: https://www.aps.anl.gov/Science/Scientific-Software/OASYS
- П.Ю. Глаголев, Н.А. Дюжев, В.И. Корнеев, Г.Д. Демин. Матер. XXVII Международного Международный симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника", 2, 843 (2023)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
