Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2 3 4
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Преимущественное распыление при облучении сплавов газовыми кластерными ионами

DOI: 10.21883/JTF.2022.12.53761.141-22

Переводная версия: 10.21883/TP.2022.12.55207.141-22

Российский научный фонд, 21-19-00310

Черныш В.С.

¹, Иешкин А.Е.

¹, Киреев Д.С.¹, Миннебаев Д.К.¹, Скрылева Е.А.², Сенатулин Б.Р.²

¹Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия Lomonosov Moscow State University, Moscow, Russia

²Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия National University of Science and Technology MISiS, Moscow, Russia

National University of Science and Technology MISiS, Moscow, Russia

Email: ieshkin@physics.msu.ru

Поступила в редакцию: 19 мая 2022 г.

В окончательной редакции: 25 июня 2022 г.

Принята к печати: 18 августа 2022 г.

Выставление онлайн: 31 октября 2022 г.

PDF версия

Исследованы топография и состав поверхности сплавов на основе никеля при облучении кластерными ионами Ar₂₅₀₀⁺ с энергией 20 keV и атомарными ионами Ar⁺ с энергией 3 keV. Экспериментально обнаружено обеднение поверхности сплавов компонентом с меньшей энергией связи. Показано, что изменение поверхностных концентраций компонентов сплавов при облучении кластерными ионами на порядок больше, чем при распылении атомарными ионами. Степень изменения состава поверхности определена соотношением коэффициентов распыления компонентов сплава. Ключевые слова: газовые кластерные ионы, ионное распыление, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, преимущественное распыление, топография поверхности.

I. Yamada. Appl. Surf. Sci., 310, 77 (2014). DOI: 10.1016/j.apsusc.2014.03.147
А.Е. Иешкин, А.Б. Толстогузов, Н.Г. Коробейщиков, В.О. Пеленович, В.С. Черныш. УФН, 192 (8), 722 (2022). DOI: 10.3367/UFNr.2021.06.038994 [A.E. Ieshkin, A.B. Tolstoguzov, N.G. Korobeishchikov, V.O. Pelenovich, V.S. Chernysh. Phys. Usp., 65 (7) (2022). DOI: 10.3367/UFNe.2021.06.038994]
A. Ieshkin, D. Kireev, V. Chernysh, A. Molchanov, A. Serebryakov, M. Chirkin. Surf. Topogr. Metrol. Prop., 7, 025016 (2019). DOI: 10.1088/2051-672X/ab1f49
Н.Г. Коробейщиков, И.В. Николаев, М.А. Роенко. Письма в ЖТФ, 45 (6), 30 (2019). DOI: 10.21883/PJTF.2019.06.47496.17646 [N.G. Korobeishchikov, I.V. Nikolaev, M.A. Roenko. Tech. Phys. Lett., 45 (3), 274 (2019). DOI: 10.1134/S1063785019030295 ]
V. Pelenovich, X.M. Zeng, J.B. Luo, R. Rakhimov, W.B. Zuo, X.Y. Zhang, C.X. Tian, C.W. Zou, D.J. Fu, B. Yang. Acta Phys. Sin., 70 (5), 053601 (2021). DOI: 10.7498/aps.70.20201454
S.J. Lee, A. Hong, J. Cho, C.M. Choi, J.Y. Baek, J.Y. Eo, B.J. Cha, W.J. Byeon, J.Y. We, S. Hyun, M. Jeon, C. Jeon, D.J. Ku, M.C. Choi. Appl. Surf. Sci., 572, 151467 (2022). DOI: 10.1016/j.apsusc.2021.151467
A. Delcorte, V. Delmez, C. Dupont-Gillain, C. Lauzin, H. Jefford, M. Chundak, C. Poleunis, K. Moshkunov. Phys. Chem. Chem. Phys., 22, 17427 (2020). DOI: 10.1039/d0cp02398a
E.A. Skryleva, B.R. Senatulin, D.A. Kiselev, T.S. Ilina, D.A. Podgorny, Yu.N. Parkhomenko. Surf. Interfaces, 26, 101428 (2021). DOI: 10.1016/j.surfin.2021.101428
O. Romanyuk, I. Gordeev, A. Paszuk, O. Supplie, J.P. Stoeckmann, J. Houdkova, E. Ukraintsev, I. Bartov s, P. Jiv r cek, T. Hannappel. Appl. Surf. Sci., 514, 145903 (2020). DOI: 10.1016/j.apsusc.2020.145903
V.N. Popok, J. Samela, K. Nordlund, V.P. Popov. Phys. Rev. B, 85, 033405 (2012). DOI: 10.1103/PhysRevB.85.033405
D. Maciazek, M. Kanski, Z. Postawa. Anal. Chem., 92, 7349 (2020). DOI: 10.1021/acs.analchem.0c01219
R. Simpson, R.G. White, J.F. Watts, M.A. Baker. Appl. Surf. Sci., 405, 79 (2017). DOI: 10.1016/j.apsusc.2017.02.006
P. Mack. https://assets.thermofisher.com/TFS-Assets/MSD/ Scientific-Resources/ Monatomic-Cluster-Argon-Ion-XPS-Presentation.pdf
D.F. Yancey, C. Reinhardt. J. Electron. Spectros. Relat. Phenomena, 231, 104 (2019). DOI: 10.1016/j.elspec.2018.01.005 0368-2048
A.J. Barlow, N. Sano, B.J. Murdoch, J.F. Portoles, P.J. Pigram, P.J. Cumpson. Appl. Surf. Sci., 459, 678 (2018). DOI: 10.1016/j.apsusc.2018.07.195
A.E. Ieshkin, D.S. Kireev, A.A. Tatarintsev, V.S. Chernysh, B.R. Senatulin, E.A. Skryleva. Surf. Sci., 700, 121637 (2020). DOI: 10.1016/j.susc.2020.121637
V.S. Chernysh, H.H. Brongersma, P. Bruner, T. Grehl. Nucl. Instrum. Meth. B, 460, 180 (2019). DOI: 10.1016/j.nimb.2019.02.008
E. Gillam. J. Phys. Chem. Solids, 11, 55 (1959)
L.E. Rehn, S. Danyluk, H. Wiedersich. Phys. Rev. Lett., 43, 1437 (1979). DOI: 10.1103/PhysRevLett.43.1437
N.Q. Lam, G.K. Leaf, H. Wiedersich. J. Nucl. Mater., 88, 289 (1980). DOI: 10.1016/0022-3115(80)90285-8
N.Q. Lam, H. Wiedersich. J. Nucl. Mater., 103, 433 (1981). DOI: 10.1016/0022-3115(82)90637-7
H.H. Andersen, J. Chevalier, V. Chernysh. Nucl. Instrum. Meth., 191, 241 (1981). DOI: 10.1016/0029-554X(81)91010-7
H.H. Andersen, V. Chernysh, B. Stenum, T. Sorensen, H.J. Whitlow. Surf. Sci., 123, 39 (1982). DOI: 10.1016/0039-6028(82)90127-3
P. Sigmund, A. Oliva, G. Falcone, Nucl. Instrum. Meth., 194, 541 (1982). DOI: 10.1016/0029-554X(82)90578-X
R. Kelly, Surf. Interf. Anal., 7, 1 (1985). DOI: 10.1002/sia.740070102
H.H. Andersen, B. Stenum, T. Sorensen, H.J. Whitlow. Nucl. Instrum. Meth., 209--210, 487 (1983). DOI: 10.1016/0167-5087(83)90843-8
R. Kelly, A. Oliva. Nucl. Instr. Meth. B, 13, 283 (1986). DOI: 10.1016/0168-583X(86)90515-X
D.M. Gruen, A.R. Krauss, S. Susman, M. Venugopalan, M. Ron. J. Vac. Sci. Tech. A, 1, 924 (1983). DOI: 10.1116/1.572152
P. Sigmund. Nucl. Instrum. Meth. B, 27, 1 (1987). DOI: 10.1016/0168-583X(87)90004-8
R. Kelly. In: Proc. Symposium on Sputtering, ed. by P. Varga, G. Betz, F.P. Viehbjck, (Vienna, 1980)
N.Q. Lam, H. Wiedersich. Rad. Eff. Lett., 67, 107 (1982). DOI: 10.1080/01422448208226866
R. Behrisch (Ed.) Sputtering by Particle Bombardment I. Topics in Applied Physics (Springer-Verlag, Berlin-Heidelberg-NY., 1981), v. 47. DOI: 10.1007/3-540-10521-2
M. Shikata, R. Shimizu. Surf. Sci., 97, L363 (1980). DOI: 10.1016/0039-6028(80)90664-0
H.V. Pickering. J. Vac. Sci. Tech., 13, 618 (1976). DOI: 10.1116/1.569045
V.S. Chernysh, A.E. Ieshkin, D.S. Kireev, A.V. Nazarov, A.D. Zavilgelsky. Surf. Coat. Tech., 388, 125608 (2020). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2020.125608
N. Toyoda, H. Kitani, N. Hagiwara, T. Aoki, J. Matsuo, I. Yamada. Mater. Chem. Phys., 54, 262 (1998). DOI: 10.1016/S0254-0584(98)00101-1
A.E. Ieshkin, Yu.A. Ermakov, V.S. Chernys. Nucl. Instrum. Meth. B, 354, 226 (2015). DOI: 10.1016/j.nimb.2014.11.065
M. Benguerba, Nucl. Instrum. Meth. B, 420, 27 (2018). DOI: 10.1016/j.nimb.2018.01.030
J. Matsuo, N. Toyoda, M. Akizuki, I. Yamada. Nucl. Instrum. Meth. B, 121, 459 (1997). DOI: 10.1016/S0168-583X(96)00541-1
P. Sigmund. Nucl. Instrum. Meth. B, 406, 391 (2017). DOI: 10.1016/j.nimb.2016.12.004
J.B. Malherbe, W.O. Barnard. Surf. Sci., 255, 309 (1991). DOI: 10.1016/0039-6028(91)90688-O
M.P. Seah, T.S. Nunney. J. Phys. D, 43, 253001 (2010). DOI: 10.1088/0022-3727/43/25/253001
Y. Yamamura, H. Tawara. At. Data Nucl. Data Tables, 62, 149 (1996). DOI: 10.1006/adnd.1996.0005

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель