Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2022, выпуск 8 » Статья стр. 1207
<<<>>>
Перспективные длины волн для проекционной литографии с использованием синхротронного излучения
DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52785.102-22
Переводная версия: 10.21883/TP.2022.08.54567.102-22
Чхало Н.И.1, Полковников В.Н.1, Салащенко Н.Н.1, Шапошников Р.А.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: chkhalo@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 26 апреля 2022 г.
В окончательной редакции: 26 апреля 2022 г.
Принята к печати: 26 апреля 2022 г.
Выставление онлайн: 12 июня 2022 г.
PDF версия
Обсуждены перспективные длины волн для литографии следующего поколения на базе синхротронного источника рентгеновского излучения. Приведены теоретические и экспериментальные значения коэффициентов отражения многослойных рентгеновских зеркал, обеспечивающих максимальную отражательную способность в диапазоне 11.4-3.1 nm. Проведено сравнение теоретической эффективности многослойной оптики для различных длин волн. Ключевые слова: рентгеновская литография, многослойная рентгеновская оптика, многослойные рентгеновские зеркала.
  1. [Электронный ресурс] Режим доступа: https://www.asml.com/en/products/euv-lithography-systems/ twinscan-nxe3400b
  2. A. Pirati, J. van Schoot, K. Troost, R. van Ballegoij, P. Krabbendam, J. Stoeldraijer, E. Loopstra, J. Benschop, J. Finders, H. Meiling, E. van Setten, N. Mika, J. Dredonx, U. Stamm, B. Kneer, B. Thuering, W. Kaiser, T. Heil, S. Migura. Proc. SPIE, 10143, 101430G (2017). DOI: 10.1117/12.2261079
  3. Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало. Вестник РАН, 78 (5), 450 (2008)
  4. S.S. Andreev, M.M. Barysheva, N.I. Chkhalo, S.A. Gusev, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, L.A. Shmaenok, Yu.A. Vainer, S.Yu. Zuev. Nucl. Instrum. Methods in Phys. Res. A, 603 (1-2), 80 (2009). DOI: 10.1016/j.nima.2008.12.165
  5. N.I. Chkhalo, S. Kunstner, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, F. Schafers, S.D. Starikov. Appl. Phys. Lett., 102, 011602 (2013). DOI: 10.1063/1.4774298
  6. D.S. Kuznetsov, A.E. Yakshin, J.M. Sturm, R.W.E. van de Kruijs, E. Louis, F. Bijkerk. Opt. Lett., 40 (16), 3776 (2015). DOI: 10.1364/OL.40.003778
  7. S.S. Churilov, R.R. Kildiyarova, A.N. Ryabtsev, S.V. Sadovsky. Phys. Scr., 80 (4), 045303 (2009). DOI: 10.1088/0031-8949/80/04/045303
  8. T. Otsuka, D. Kilbane, J. White, T. Higashiguchi, N. Yugami, T. Yatagai, W. Jiang, A. Endo, P. Dunne, G. O'Sullivan. Appl. Phys. Lett., 97, 111503 (2010). DOI: 10.1063/1.3490704
  9. N.I. Chkhalo, N.N. Salashchenko. AIP Adv., 3 (8), 082130 (2013). DOI: 10.1063/1.4820354
  10. B.L. Henke, P. Lee, T.J. Tanaka, R.L. Shimabukuro, B.K. Fujkawa. Atom. Nucl. Data Table, 27 (1982). DOI: 10.1016/0092-640X(82)90002-X
  11. B.L. Henke, E.M. Gullikson, J.C. Davis. Atom. Data and Nuclear Data Tables, 54 (2), 181-342 (1993). DOI: 10.1006/ADND.1993.1013
  12. А.В. Виноградов, И.А. Брытов, Ф.Я. Грудский, М.Т. Коган, И.В. Кожевников, В.А. Слемзин. Зеркальная рентгеновская оптика, под общей ред. А.В. Виноградова (Машиностроение. Ленинградское отд., Л., 1989)
  13. A.V. Vinogradov, B.Ya. Zeldovich. Appl. Opt., 16 (1), 89 (1977). DOI: 10.1364/AO.16.000089
  14. В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, М.В. Свечников, Н.И. Чхало. УФН, 190, 92 (2020). DOI: 10.3367/UFNr.2019.05.038623
  15. C. Burcklen, S. de Rossi, E. Meltchakov, D. Denneti\`ere, B. Capitanio, F. Polack, F. Delmotte. Opt. Lett., 42 (10), 1927 (2017). DOI: 10.1364/OL.42.001927
  16. В.Н. Полковников, С.А. Гарахин, Д.С. Квашенников, И.В. Малышев, Н.Н. Салащенко, М.В. Свечников, Р.М. Смертин, Н.И. Чхало. ЖТФ, 90 (11), 1893-1897 (2020). DOI: 10.21883/JTF.2020.11.49980.143-20
  17. I.A. Artyukov, Y. Bugayev, O.Yu. Devizenko, R.M. Feschenko, Y.S. Kasyanov, V.V. Kondratenko, S.A. Romanova, S.V. Saveliev, F. Schafers, T. Feigl, Y.A. Uspenski, A.V. Vinogradov. Proc. SPIE, 5919, 59190E (2005). DOI: 10.1117/12.620037
  18. D.L. Windt, E.M. Gullikson. Appl. Opt., 54 (18), 5850 (2015). DOI: 10.1364/AO.54.005850
  19. V.N. Polkovnikov, R.A. Shaposhnikov, N.I. Chkhalo, N.N. Salashchenko, N.A. Djuzhev, F.A. Pudonin, G.D. Demin. Bull. Lebedev Phys. Institute, 48 (12), 406 (2021). DOI: 10.3103/S1068335621120101
  20. B. Sae-Lao, C. Montcalm. Opt. Lett., 26 (7), 468 (2001). DOI: 10.1364/OL.26.000468
  21. В.Н. Полковников, Р.А. Шапошников, C.Ю. Зуев, М.В. Свечников, М.Г. Сертсу, А. Соколов, Ф. Шаферс, Н.И. Чхало. Матер. XXVI Междунар. симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника", 1, 585 (2022)
  22. C. Montcalm, S. Bajt, P. Mirkarimi, E. Spiller, F. Weber, J. Folta. SPIE, 3331, 42 (1998). DOI: 10.1117/12.309600
  23. M.V. Svechnikov, N.I.Chkhalo, S.A. Gusev, A.N. Nechay, D.E. Pariev, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, D.A. Tatarskiy, N.N. Salashchenko, Y.A. Vainer, M.V. Zorina, F. Schafers, M.G. Sertsu, A. Sokolov. Opt. Express, 26 (26), 33718 (2018). DOI: 10.1364/OE.26.033718

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme