Вышедшие номера
Плазмохимическое травление в постростовой технологии фотоэлектрических преобразователей
Малевская А.В. 1, Задиранов Ю.М. 1, Ильинская Н.Д. 1, Малевский Д.А. 1, Покровский П.В. 1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: amalevskaya@mail.ioffe.ru, zadiranov@mail.ioffe.ru, natalya.ilynskaya@mail.ioffe.ru, dmalevsky@scell.ioffe.ru, P.Pokrovskiy@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 28 октября 2021 г.
В окончательной редакции: 25 января 2022 г.
Принята к печати: 25 января 2022 г.
Выставление онлайн: 14 февраля 2022 г.

Проведены исследования плазмохимической технологии травления гетероструктур при формировании каскадных фотоэлектрических преобразователей. Рассмотрен этап формирования разделительной мезаструктуры при различных режимах травления и последующего удаления нарушенного слоя методом жидкостной химической обработки гетероструктуры. Проведено исследование влияния методов травления мезы на электрические характеристики элементов. Разработана технология формирования фотоэлектрических преобразователей с низкими значениями токов утечки менее 10-9 A при напряжении менее 1 V c высокой стойкостью элементов к деградации. Ключевые слова: фотоэлектрический преобразователь, гетероструктура, плазмохимическое травление, мезаструктура.
  1. Zh.I. Alferov, V.M. Andreev, V.D. Rumyantsev. "III-V Hetestructures in Photovoltaics" in "Concentrator Photovoltaics", еd. by A. Luque, V. Andreev. Springer Ser. in Optical Sciences (Springer, Berlin-Heidelberg, 2007), v. 130, p. 25--50. DOI: 10.1007/978-3-540-68798-6\_2
  2. M.A. Green, E.D. Dunlop, J. Hohl-Ebinger, M. Yoshita, N. Kopidakis, X. Hao. Solar Cell Efficiency Tables (Version 58). Prog. Photovolt.: Res. Appl., 29 (1), 657 (2021). DOI: 10.1002/pip.3444
  3. Zh.I. Alferov, V.M. Andreev, M.Z. Shvarts. "III-V Solar Cells and Concentrator Arrays" in "High Efficient Low-Cos Photovoltaics", ed. by V. Petrova-Koch, R. Hezel, A. Goetzberger (Springer Ser. in Optical Sciences, 2020), v. 140, p. 133--174. DOI: 10.1007/978-3-030-22864-4\_8
  4. Handbook of Concentrator Photovoltaic Technology, ed. by Carlos Algora, Rey-Stole Ignacio (John Willey\&Sons, Ltd, 2016)
  5. Е.В. Слыщенко, А.А. Наумова, А.А. Лебедев, М.А. Генали, Н.Т. Вагапова, Б.В. Жалнин. Сибирский журнал науки и техники, 19 (2), 308 (2018)
  6. M.E. Levinshtein, Semiconductor Technology (Wiley-Interscience Publication, USA, 1997)
  7. А.В. Малевская, Д.А. Малевский, П.В. Покровский, В.М. Андреев. Письма в ЖТФ, 46 (19), 35 (2020). DOI: 10.21883/PJTF.2020.19.50043.18375
  8. M. de Lafontaine, E. Pargon, C. Petit-Etienne, G. Gay, A. Jaouad, M.-J. Gour, M. Volatier, S. Fafard, V. Aimez, M. Darnon. Solar Energy Materials and Solar Cells, 195, 49 (2019). DOI: 10.1016/j.solmat.2019.01.048
  9. А.В. Малевская, Ю.М. Задиранов, Д.А. Малевский, П.В. Покровский, Н.Д. Ильинская, В.М. Андреев. Письма в ЖТФ, 47 (3), 14 (2021). DOI: 10.21883/PJTF.2021.03.50568.18446

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.