Численное моделирование процесса получения мультикремния методом направленной кристаллизации
Foundation for Assistance to Small Innovative Enterprises (FASIE, Russia), ERA.Net RUS Plus Project, 295ГР/21031
Смирнов С.А.1, Калаев В.В.1
1OOO "Софт-Импакт", Санкт-Петербург, Россия
Email: sergey.smirnov@str-soft.com, vladimir.kalaev@str-soft.com
Поступила в редакцию: 22 апреля 2019 г.
В окончательной редакции: 25 декабря 2019 г.
Принята к печати: 19 января 2020 г.
Выставление онлайн: 7 апреля 2020 г.
Рассмотрен метод численного моделирования процесса направленной кристаллизации мультикремния в тигле квадратного сечения. Дано обоснование применения в расчетах 2D-осесимметричной геометрии, построенной по вертикальному сечению печи. Математическая модель описывает гидродинамику расплава, течение газа, глобальный теплообмен, тепловые напряжения и эволюцию плотности дислокаций в растущем кристалле. Определена чувствительность напряжений и плотности дислокаций к параметрам модели Александера-Хаазена. Ключевые слова: кристалл, гидродинамика, тепловые напряжения, дислокации.
- Chen L., Dai B. // J. Cryst. Growth. 2012. Vol. 354. P. 86--92
- Chen W., Zhou B., Ding J., Yu Y., Dong H., Zhong G., Huang X. // J. Mater. Sci. Eng. B. 2016. Vol. 6. P. 201--210
- Wu Z., Zhongb G., Zhang Z., Zhou X., Wanga Z., Huang X. // J. Cryst. Growth. 2015. Vol. 426. P. 110--116
- Zhou B., Chen W., Dong H., Zhou X., Qi F., Luo J., Huan X. // J. Mater. Sci. Eng. B. 2017. Vol. 7. P. 89--98
- Электронный ресурс. Режим доступа: http://www.str-soft.com/products/CGSim/
- M'Hamdi M., Gouttebroze S., Fjaer H.G. // J. Cryst. Growth. 2011. Vol. 318. P. 269--274
- M'Hamdi M., Gouttebroze S., Fjaer H.G. // J. Cryst. Growth. 2013. Vol. 362. P. 83--87
- Alexander H., Haasen P. // Solid State Phys. 1969. Vol. 22. P. 27--158
- Erofeev V.N., Nikitenko V.I. // Soviet Physics Jetp. 1971. Vol. 33. N 5. P. 963--966
- Nakano S., Chen X.J., Gao B., Kakimoto K. // J. Cryst. Growth. 2011. Vol. 318. P. 280--282
- Smirnova O.V., Mamedov V.M., Kalaev V.V. // Cryst. Growth Des. 2014. N 14. P. 5532--5537
- Wolfshtein M. // Int. J. Heat Mass Transfer. 1969. Vol. 12. N 3. P. 301--318
- Kuliev A.T., Durnev N.V., Kalaev V.V. // J. Cryst. Growth. 2007. Vol. 303. P. 236--240
- Gao B., Nakano S., Kakimoto K. // J. Cryst. Growth. 2013. Vol. 369. P. 32--37
- Maroudas D., Brown R.A. // J. Cryst. Growth. 1991. Vol. 108. P. 399--415
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
