Электрические свойства тонких пленок аморфного углерода, полученных методом ионно-лучевого напыления
Министерство образования и науки Российской Федерации, Влияние наноструктурного состояния на транспортные явления в гетерогенных наноструктурах оксидных полупроводников, 3.1867.2017/4.6
Калинин Ю.Е.
1, Каширин М.А.
1, Макагонов В.А.
1, Панков С.Ю.
1, Ситников А.В.
11Воронежский государственный технический университет, Воронеж, Россия
Email: kalinin48@mail.ru, mnitro@yandex.ru, vlad_makagonov@mail.ru, srgpank@mail.ru, sitnikov04@mail.ru
Поступила в редакцию: 14 марта 2017 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2017 г.
Исследованы электрические свойства тонких пленок аморфного углерода, полученных методом ионно-лучевого распыления графитовой мишени в атмосфере аргона. Анализ структуры методом рамановской спектроскопии показал, что полученные тонкие пленки можно классифицировать как графитоподобные. Изучение электрической проводимости и термоэдс показали, что с повышением температуры от 77 до 190 K в полученных тонких пленках прыжковый механизм электрической проводимости с переменной длиной прыжка по локализованным состояниям вблизи уровня Ферми сменяется прыжковым переносом по ближайшим соседям, а в области температур, близких к комнатной, электроперенос осуществляется прыжками переменной длины по локализованным состояниям в хвосте валентной зоны.
- Джонсер А.К., Хилл Р.М. // Физика тонких пленок. М.: Мир, 1978. С. 180--263
- Grill A. // Diamond and Related Materials. 1999. Vol. 8. P. 428--434
- Peng X.L., Clyne T.W. // Thin Solid Films. 1998. Vol. 312. P. 207
- Ivanov-Omskii V.I., Siklitsky V.I., Sitnikova A.A., Suvorova A.A., Tolmatchev A.V., Zvonariova T.K., Yastrebov S.G. // Phil. Mag. 1997. Vol. 76. P. 973
- Robertson J. // Diam. Rel. Mat. 1992. P. 397--406
- Robertson J. // Material Science Forum. 1989. Vol. 52\&53. P. 125--150
- Bubenzer A., Dischler B., Brandt G., Koidl P. // J. Appl. Phys. 1983. Vol. 54. P. 4590
- Kaplan S., Jansen F., Machonkin M. // Appl. Phys. Lett. 1985. Vol. 47. P. 750
- Zou J.W., Reichelt K., Schmidt K., Dischler B. // J. Appl. Phys. 1989. Vol. 65. P. 3914
- Robertson J. // Philosophical Magazine. Part B. 1990. Vol. 76. P. 335--350
- Мотт Н., Дэвис Э. Электронные процессы в некристаллических веществах: в 2 т. М.: Мир, 1982. Т. 1. 658 с
- Moustafa S.H., Koos M., Pocsik I. // J. Non-crystalline Solid. 1998. Vol. 227--230. P. 1087--1091
- Grill A. // Thin Sol. Film. 1999. Vol. 355--356. P. 189--193
- Koos M. Moustafa S.H., Szilagyi E., Pocsik I. // Diamond and Related Materials. 1999. Vol. 8. P. 1919--1926
- Clausing R. Diamond and Diamond-like Films and Coafings. NY.: Plenum Press, 1991. 907 p
- Mominzzaman Sh.M., Soga T., Jimbo T., Umeno M. // Diamond and Related Materials. 2001. Vol. 10. P. 1839--1842
- Ferrari A.C., Robertson J. // Phys. Rev. B. 2000. Vol. 61. N 20. P 14095-- 14107
- Ferrari A.C., Kleinsorge B., Adamopoulos G., Robertson J., Milne W.I., Stolojan V., Brown L.M., Libassi A., Tanner B.K. // J. Non-Cryst. Sol. 2000. Vol. 266--269. P. 765--768
- Schiffmann K. // Wear. 1988. Vol. 216. P. 27--34
- Muto S., Kubo T., Kurokawa Y., Suzuki K. // Thin Sol. Film. 1998. Vol. 322. P. 233--238
- Prikhodko O.Yu., Manabaev N.K., Guseynov N.R., Maksimova S.Ya., Mikhailova S.L., Daineko E.A. // Proc. International Conference on Diamond and Carbon Materials (DIAM 2013)". Italy, 2013. P. 96
- Гриднев С.А. Калинин Ю.Е., Ситников А.В., Стогней О.В. Нелинейные явления в нано- и микрогетерогенных системах. М.: БИНОМ, Лаборатория знаний, 2012. 352 c
- Сморгонская Э.А., Иванов-Омский В.И. // ФТП. 2005. Т. 39. Вып. 8. С. 970--975
- Robertson J. // Mater. Sci. Engineer. R. 2002. Vol. 37. P. 129--281
- Ferrari A.C., Rodil S.E., Robertson J. // Phys. Rev. B. 2003. Vol. 67. P. 155306 (1--20)
- Сиклицкий В.И., Луцев Л.В., Байдакова М.В. // Письма в ЖТФ. 2002. Т. 28. Вып. 7. С. 46--51
- Robertson J. // Philos. Mag. Lett. 1988. Vol. 57. P. 143
- Каминский В.В., Васильев Л.Н., Романова М.В., Соловьев С.М. // ФТТ. 2001. Т. 43. Вып. 6. С. 997--999
- Fung A.W.P., Wang Z.H., Dresselhaus M.S., Dresselhaus G., Pekala R.W., Endo M. // Phys. Rev. B. 1994. Vol. 49. P. 17325--17335
- Maikena E.B., Taborek P. // J. Appl. Phys. 2000. Vol. 87. P. 4223
- Shimakawa K., Miyake K. // Phys. Rev. 1989. Vol. 39. P. 7578
- Meyerson B., Smith F.W. // Sol. Stat. Commun. 1982. Vol. 41. N l. P. 23--27
- Bhattacharyya S. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2009. Vol. 42. P. 085407--085413
- Takai K., Oga M., Sato H., Enoki T. // Phys. Rev. 2003. Vol. 67. P. 214202
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
