"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Численное моделирование процесса абляции тонких пленок молибдена под действием лазерного излучения
Казанский Н.Л., Полетаев С.Д.1
1Институт систем обработки изображений РАН, Самара, Россия
Поступила в редакцию: 5 мая 2015 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2016 г.

Представлены результаты численного моделирования процесса воздействия лазерного излучения на пленку молибдена, нанесенную на кварцевую подложку. Результаты моделирования подтвердили экспериментально обнаруженный эффект трехкратного уменьшения размера зоны абляции по сравнению с размером фокального пятна. Средствами вычислительного эксперимента подтверждена гипотеза о двухэтапности процесса абляции металлической пленки с первоначальным образованием оксидной фазы. Доказано, что окисление приводит к избирательному снижению термического сопротивления пленки в вертикальном направлении, в результате чего усиливается анизотропный характер процесса абляции.
  • Haight R., Wagner A., Longo P., Lim D. // Proc. SPIE. 2005. Vol. 5714. P. 24--36
  • Zhao Q.Z., Qiu J.R., Jiang X.W., Dai E.W., Zhou C.H., Zhu C.S. // Opt. Express. 2005. Vol. 13. P. 2089--2092
  • Chon B.H., Kim H.S., Jeoung S.C., Kim D., Lee J.I., Chu H.Y., Kim H.R. // Opt. Lasers Eng. 2006. Vol. 44. P. 138--146
  • Dong Y., Sakata H., Molian P. // Appl. Surf. Sci. 2005. Vol. 252. P. 352--357
  • Heise G., Englmaier M., Hellwig C., Kuznicki T., Sarrach S., Huber Heinz P. // Appl. Phys. A. 2011. Vol. 102. P. 173--178
  • Zoppel S., Huber H., Reider G.A. // Appl. Phys. A. 2007. Vol. 89. P. 161--163
  • Padhiar V.B., Patel A.L., Ray J.R., Desai1 M.S., Panchal C.J. // J. Nano-Electron. Phys. 2011. Vol. 3. P. 9--16
  • Волков А.В., Моисеев О.Ю., Полетаев С.Д. // Компьютерная оптика. 2013. Т. 37. N 2. С. 220--225
  • Волков А.В., Казанский Н.Л., Моисеев О.Ю., Полетаев С.Д. // ЖТФ. 2015. Т. 85. N 2. С. 107--111
  • Анисимов С.И., Лукьянчук Б.С. // УФН. 2002. Т. 172. N 3. С. 301--333
  • Ши Д. Численные методы в задачах теплообмена. М.: Мир, 1988. 543 с
  • Егоров В.И. Применение ЭВМ для решения задач теплопроводности. Учебное пособие. СПб.: СПб ГУ ИТМО, 2006. 77 с
  • Физические величины: Справочник / Под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат, 1991. 1232 с
  • Кухлинг Х. Справочник по физике. М.: Мир, 1985. 520 с
  • Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1973. 720 с
  • Анисимов С.И., Имас Я.А., Романов Г.С., Ходыко Ю.В. Действие излучения большой мощности на металлы. М.: Наука, 1970. 272 с
  • Вейко В.П., Корольков В.И., Полещук А.Г., Саметов А.Р., Шахно Е.А., Ярчук М.В. // Квантовая электроника. 2011. Т. 41. N 7. С. 631--636
  • Либенсон М.Н. Лазерно-индуцированные оптические и термические процессы в конденсированных средах и их взаимное влияние. СПб.: Наука, 2007. 423 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.