"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Чувствительные элементы датчиков вакуума на основе пористых наноструктурированных пленок SiO2-SnO2, полученных золь-гель методом
Аверин И.А., Игошина С.Е., Мошников В.А., Карманов А.А., Пронин И.А., Теруков Е.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: nano-micro@mail.ru
Поступила в редакцию: 20 октября 2014 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2015 г.

Исследованы пористые наноструктурированные пленки SiO2-SnO2, синтезируемые золь-гель методом, используемые в качестве чувствительных элементов датчиков вакуума. Для этого сформированы и проанализированы свойства пленок со сферической, лабиринтной и перколяционной сетчатой структурой. Показано, что при уменьшении давления ниже атмосферного происходит резкое уменьшение сопротивления чувствительных элементов на основе наноструктурированных пленок. Исследованы процессы, протекающие в пленках, при давлениях ниже атмосферного. Установлено, что десорбция паров воды приводит к увеличению сопротивления чувствительных элементов датчиков вакуума, а десорбция углекислого газа и кислорода вызывает его уменьшение, что хорошо согласуется с результатами экспериментов.
  • Семкин Н.Д., Воронов К.Е., Занин А.Н., Пияков И.В. // Прикладная физика. 2006. N 2. С. 108
  • Голосков В.В. // Вакуумная техника и технология. 2006. Т. 16. N 1. С. 15
  • Randjelovic Danijela V., Frantlovic Milos P., Miljkovic Budimir L., Popovic Bogdan M., Jaksic Zoran S. // Vacuum. 2014. Vol. 101. С. 118
  • Kim S.J. // Письма в ЖТФ. 2005. Т. 31. N 14. С. 34
  • Chang S.J., Hsueh T.J., Hsu C.L., Lin Yu.R., Chen I.C., Huang B.R. // Nanotechnology. 2008. Vol. 19. N 095. P. 505
  • Капустянык В.Б., Панасюк М.Р., Турко Б.И., Дубов Ю.Г., Сэркиз Р.Я. // ФТП. 2014. Т. 48. Вып. 10. С. 1430
  • Moshnikov V.A., Gracheva I.E., Kuznezov V.V., Maximov A.I., Karpova S.S., Ponomareva A.A. // J. Non-Crystal. Sol. 2010. Vol. 356. N 37. P. 2020
  • Pronin I.A., Dimitrov D.Tz., Krasteva L.K., Papazova K.I., Averin I.A., Chanachev A.S., Bojinova A.S., Georgieva A.Ts., Yakushova N.D., Moshnikov V.A. // Sensor. Actuat. A: Phys. 2014. Vol. 206. P. 88
  • Аверин И.А., Пронин И.А., Карманов А.А. // Нано- и микросистемная техника. 2013. Т. 5. С. 23
  • Brinker C.F., Scherer G.W. Sol-Gel Science. The Physics and Chemistry of Sol-Gel Processing. San Diego: Academic Press, 1990
  • Кононова И.Е., Мошников В.А., Криштаб М.Б., Пронин И.А. // ФХС. 2014. Т. 40. N 2. С. 244
  • Шилова О.А. // ФХС. 2005. Т. 31. N 2. С. 270
  • Pronin I.A., Goryacheva M.V. // Surf. Coatin. Technol. 2013. Vol. 235. С. 835
  • Грачева И.Е., Максимов А.И., Мошников В.А. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2009. Т. 10. С. 16
  • Патент RU N 2485465. Опубл. 20.06.2013
  • Патент RU N 2506659. Опубл. 10.02.2014
  • Патент RU N 2505885. Опубл. 27.01.2014
  • Леньшин А.С., Кашкаров В.М., Ципенюк В.Н., Середин П.В., Агапов Б.Л., Минаков Д.А., Домашевская Э.П. // ЖТФ. 2013. Т. 83. Вып. 2. С. 136
  • Игошина С.Е., Карманов А.А., Сигаев А.П. // Молодой ученый. 2014. Т. 68. N 9. С. 158
  • Леньшин А.С., Кашкаров В.М., Середин П.В., Спивак Ю.М., Мошников В.А. // ФТП. 2011. Т. 45. N 9. С. 1229
  • Aziz M., Abbas S.S., Baharom W.R.W. // Mater. Lett. 2013. Vol. 91. N 31
  • Аверин И.А., Карманов А.А., Мошников В.А., Печерская Р.М., Пронин И.А. // Изв. вуз. Поволжский регион. Физ.-мат. науки. 2012. Т. 22. N 2. С. 155
  • Ролдугин В.И. // Успехи химии. 2003. Т. 72. N 4. С. 1027
  • Грачева И.Е., Мошников В.А., Пронин И.А. // Нанотехника. 2011. Т. 9. N 2. С. 46
  • Мошников В.А., Грачева И.Е., Аньчков М.Г. // ФХС. 2011. Т. 37. N 5. С. 38
  • Игошина С.Е., Карманов А.А., Сигаев А.П. // Молодой ученый. 2014. Т. 70. N 11. С. 52
  • Аверин И.А., Мошников В.А., Пронин И.А. // Нано- и микросистемная техника. 2013. Т. 9. С. 19
  • Gierke T.D., Munn G.E., Wilson F.C. // J. Polymer. Sci. 1981. Vol. 19. P. 1688
  • Sokry Hassan H., Kashyout A.B., Soliman H.M.A., Uosif M.A., Afify N. // Appl. Surf. Sci. 2013. Vol. 277. P. 73
  • Аверин И.А, Мошников В.А., Пронин И.А. // Нано- и микросистемная техника. 2013. Т. 8. С. 31
  • Давыдов И.А., Мошников В.А., Федотов А.А. // Письма в ЖТФ. 2004. Т. 30. Вып. 17. С. 39
  • Zheng X.J., Cao X.C., Sun J., Yuan B, Li Q.H., Zhu Z., Zhang Y. // Nanotechnology. 2011. Vol.22. N 435. P. 501
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.