"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Атомно-молекулярная модель граничного трения в микротрибоконтактах поверхностей полупроводниковых и диэлектрических материалов
Колпаков В.А.1, Ивлиев Н.А.1,2
1Самарский государственный аэрокосмический университет им. академика С.П. Королева (национальный исследовательский университет), Самара, Россия
2Институт систем обработки изображений РАН, Самара, Россия
Email: ivlievn@gmail.com
Поступила в редакцию: 11 сентября 2014 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2015 г.

Рассмотрены механизмы механического и молекулярного трения полупроводниковых и диэлектрических подложек при трибометрическом взаимодействии их поверхностей. Показаны возможности применения теории И.В. Крагельского для аналитического определения механической составляющей силы трения и адгезионной модели трения, устанавливающих связь между параметрами механизма точечного трибометрического взаимодействия подложек, имеющих одинаковую степень загрязнения, и концентрацией органических молекул адсорбированных поверхностями. Полученная аналитическая зависимость позволяет определять концентрацию атомов и молекул, адсорбируемых поверхностью в пределах до 10-10 g/cm2. Расхождение теоретических и экспериментальных результатов не превышает 18%.
  1. Полтавцев Ю.Г., Князев А.С. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике. Киев: Тэхника, 1990. 206 с
  2. Rochat N., Olivier M., Chabli A., Conne F., Lefeuvre G., Boll-Burdet C. // Appl. Phys. Lett. 2000. Vol. 77. N 14. P. 2249-2251
  3. Казанский Н.Л., Колпаков В.А, Колпаков А.И., Кричевский С.В., Ивлиев Н.А. // Компьютерная оптика. 2007. Вып. 31. С. 42-46
  4. Zhang X., Chae J. // Sens. Actuat. A. 2011. Vol. 171. P. 414-420
  5. Изотов П.Ю., Глянько М.С, Суханов С.В. // Компьютерная оптика. 2011. Т. 35. Вып. 1. С. 63-69
  6. Goddard J., Mandal S., Erickson D. Advanced Photonic Structures for Biological and Chemical Detection Integrated Analytical Systems. NY: Springer--Verlag. 2009. P. 445
  7. Kazanskiy N.L., Kolpakov V.A., Kolpakov A.I., Ivliev N.A, Krichevsky S.V. // J. Frict. Wear. 2013. Vol. 1. N 1. P. 10-14
  8. Фролов К.В. Современная трибология. М: Издательство ЛКИ, 2008. 480 с
  9. Буяновский И.А., Фукс И.Г., Шабалина Т.Н. Граничная смазка: этапы развития трибологии. М.: Нефть и газ, 2001. 232 с
  10. Браун О.М. Актуальные проблемы современного материаловедения. Т. 2. Киев, 2008. С. 253-268
  11. Дедков Г.В. // УФН. 2000. Т. 170. Вып. 6. С. 585-618
  12. Дедков Г.В. // Письма в ЖТФ. 1998. Т. 24. Вып. 19. С. 44-50
  13. Persson B.N.G. // Phys. Rev. 1995. Vol. 51. N 19. P. 13 568-13 585
  14. Крагельский И.В., Добычин М.Н., Комбалов В.С. Основы расчетов на трение и износ. М.: Машиностроение, 1997. 526 с
  15. Киселев В.Ф., Козлов С.Н., Зотеев А.В. Основы физики поверхности твердого тела. М.: Изд-во МГУ, 1999. 284 с
  16. Каракозов Э.С., Карташкин Б.А., Шоршонов М.Х. // Физика и химия обработки материалов. 1968. Вып. 3. С. 113--122
  17. Persson B.N.J. Micro/Nanotribology and its Applications / Ed. by B. Bhushan. Dordrecht.: Kluwer, 1997
  18. Справочник по триботехнике / Под общ. ред. М. Хебды, А.В. Чичинадзе. Т. 1. Теоретические основы. М.: Машиностроение, 1989. 400 с
  19. Комбалов В.С. Оценка триботехнических свойств контактирующих поверхностей. М.: Наука, 1983. 134 с
  20. Habuka H., Naito T., Kawahara N. // J. Electrochem. Soc. 2010. Vol. 157. N 6. P. H1014-H1018
  21. Казанский Н.Л., Колпаков В.А. Формирование оптического микрорельефа во внеэлектродной плазме высоковольтного газового разряда: монография. М.: Радио и связь, 2009. 220 с
  22. Endo M., Yoshida H., Maeda Y. // Appl. Phys. Lett. 1999. Vol. 75. N 4. P. 519-521
  23. Kim K.S., Kim J.Y., Kang H.B., Lee B.Y., Park S.M. // J. Electrochem. Soc. 2008. Vol. 155. N 6. P. H426-H431
  24. Saga K., Hattor T. // J. Electrochem. Soc. 1996. Vol. 143. N 10. P. 3279-3284

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.