ЖТФ, 2009, том 79, выпуск 7

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Кинетика нарастания и свойства наноструктурных пленок
диборида гафния

В.А.Коновалов,1 Д.Н.Терпий\kern2pt2

1 Донецкий национальный университет,
83055 Донецк, Украина
e-mail: kvadon@ukr.net
2 Донбасская государственная машиностроительная академия,
84313 Краматорск, Украина

(Поступило в Редакцию 14 мая 2008 г. В окончательной редакции 11 ноября 2008 г.)

Методами рентгеновской дифрактометрии, электронной микроскопии, рентгенографирования фотометодом проведено исследование состава, структуры, субструктуры и физико-механических свойств пленок диборида гафния, полученных нереактивным ВЧ магнетронным распылением. На основании анализа результатов выявлена кинетика процесса их нарастания.

PACS: 68.55.-a, 81.07.-b

 PDF версия (255Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2009, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster