Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
О влиянии подложки на формирование состава, структуры и твердости нитридных и боридных пленок, полученных методами ионного осаждения
1Донецкий национальный университет, Донецк, Украина 
Поступила в редакцию: 14 июня 2007 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2009 г.
Методами рентгеновской дифрактометрии, электронной микроскопии и вторичной ионной масс-спектрометрии рассмотрено влияние материала подложки на структурно-фазовое состояние и твердость нитридных и боридных пленок. Утверждается, что степень этого влияния зависит от метода напыления, определяющего ту или иную энергию ионов, поступающих на подложку и их энергию связи с атомами подложки. PACS: 68.55.-a
- Васильев А.Г., Захаров Д.Н., Лебедев О.И. и др. // Микроэлектроника. 1996. Т. 25. N 1. С. 354--362
- Clair P.Le, Berera G.P., Moodera J.S. // Thin Solid Films. 2000. Vol. 376. N 12. P. 9
- Спицын Б.В., Буйлов Л.Л., Белянин А.Н. и др. // Мат. 2-го науч.-практич. симп. "Вакуум. техн. и оборудование". Харьков, 1998. С. 245
- Junhua Xu, Geyang Li, Mingyuan Gu // Thin Solid Films. 2000. Vol. 370. P. 45
- Nie H.B., Xu S.Y., Wang S.J. et al. // Appl. Phys. A. 2001. Vol. 73. P. 229
- Андриевский Р.А. // Успехи химии. 1997. Т. 66. N 11. С. 57
- Кукушкин С.А., Осипов А.В. // ФТП. 1993. Т. 35. Вып. 1. С. 1897
- Коротаев А.Д., Овчинников А.Д., Тюменцев А.Н. и др. // Поверхность. 2004. N 1. С. 46
- Игнатенко П.И., Кляхина Н.А., Бадекин М.Ю. // Металлофизика и новейшие технологии. 2005. Т. 25. N 1. С. 89
- Игнатенко П.И., Терпий Д.Н., Гончаров А.А. // Изв. РАН. Неорг. матер. 2003. Т. 39. N 5. С. 560
- Игнатенко П.И., Кляхина Н.А., Бадекин М.Ю. // Материаловедение. 2003. N 4 (73). С. 36
- Игнатенко П.И., Кляхина Н.А., Бадекин М.Ю. // Изв. РАН. Неорг. матер. 2005. Т. 41. N 2. С. 193
- Игнатенко П.И., Кляхина Н.А., Бадекин М.Ю. // Изв. РАН. Неорг. матер. 2005. Т. 41. N 1. С. 40
- Игнатенко П.И., Кляхина Н.А., Ступак В.А., Гончаров А.А. // Металлофизика и новейшие технологии. 2005. Т. 27. N 7. С. 865
- Игнатенко П.И., Терпий Д.Н. // Поверхность. 2004. N 12. С. 102
- Игнатенко П.И., Терпий Д.Н., Гончаров А.А., Кляхина Н.А. // Материаловедение. 2006. N 11. С. 37
- Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. М.: Энергоатомиздат, 1989. С. 32
- Kanaya K., Hojou K., Koga K., Toki K. // J. Appl. Phys. 1973. Vol. 12. N 9. P. 1297
- Чернов А.А. Современная кристаллография. Т. 3. М.: Наука, 1980. С. 72
- Миссол В. Поверхностная энергия раздела фаз в металлах и сплавах. М.: Металлургия, 1978. 176 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
