ЖТФ, 2009, том 79, выпуск 7
ЖТФ, 2009, том 79, выпуск 7
| Содержание | Предыдущая статья | Следующая статья | Поиск |
|---|
Исследование плазмодинамических и оптических характеристик цилиндрического газового разряда магнетронного типа в условиях синтеза пленок нитрида титана
И.В.Блонский, А.А.Гончаров, А.В.Демчишин, А.Н.Евсюков, Е.Г.Костин, В.А.Сальников,
А.Г.Терещенко, Л.Н.Ткаченко
Институт физики НАН Украины,
03028 Киев, Украина
Институт проблем материаловедения им. И.М. Францевича НАН Украины,
03680 Киев, Украина
Институт ядерных исследований НАН Украины,
03680 Киев, Украина
e-mail: evsyukov@iop.kiev.ua; gonchar@iop.kiev.ua
(Поcтупило в Редакцию 4 марта 2008 г. В окончательной редакции 11 ноября 2008 г.)
|
Приведены результаты комплексного экспериментального исследования плазмодинамических и оптических характеристик цилиндрического газового разряда магнетронного типа в условиях непрерывного компьютерного контроля всего спектра, излучаемого в видимом оптическом диапазоне плазмой разряда. Найдены оптимальные условия для синтеза бинарных соединений TiN, которые обеспечиваются поддержанием величины интенсивности выбранных спектральных линий реагирующих компонент и плазмообразующего газа. Проведена характеризация синтезированных пленок. PACS: 52.25.Tx, 52.25.Xz, 52.70.Kz |
| PDF версия (0.9Mb) | Другие выпуски | Другие журналы | Помощь |
|---|
| Copyright (C) 2009, Коллектив авторов Разработано... webmaster |