Вышедшие номера
Исследование плазмодинамических и оптических характеристик цилиндрического газового разряда магнетронного типа в условиях синтеза пленок нитрида титана
Блонский И.В., Гончаров А.А., Демчишин А.В., Евсюков А.Н., Костин Е.Г., Сальников В.А., Терещенко А.Г., Ткаченко Л.Н.1
1Институт физики Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 4 марта 2008 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2009 г.

Приведены результаты комплексного экспериментального исследования плазмодинамических и оптических характеристик цилиндрического газового разряда магнетронного типа в условиях непрерывного компьютерного контроля всего спектра, излучаемого в видимом оптическом диапазоне плазмой разряда. Найдены оптимальные условия для синтеза бинарных соединений TiN, которые обеспечиваются поддержанием величины интенсивности выбранных спектральных линий реагирующих компонент и плазмообразующего газа. Проведена характеризация синтезированных пленок. PACS: 52.25.Tx, 52.25.Xz, 52.70.Kz
  1. Каштанов П.В., Смирнов Б.М., Хипплер Р. // УФН. 2007. Т. 175. N 5. С. 473-510
  2. Golubovskii Yu.B., Porokhova I.A., Sushkov V.P., Holik M., Kudrna P., Tichy M. Effect of ionization models on the EDF in cylindrical magnetron discharges of direct and inverted designes. XXVII-=SUP=-th-=/SUP=- ICPIG. Eindhoven, Netherlands, 2005. Top. 3
  3. Glocker D.A., Romach M.M., Lindberg V.W. // Surface and Coatings Technology. 2001. Vol. 146-147. P. 457-462
  4. Гончаров А.А., Демчишин А.В., Демчишин А.А., Костин Е.Г.. Миченко В.А., Стеценко Б.В., Терновой Е.Г., Щуренко А.И. // ЖТФ. 2007. Т. 77. Вып. 8. С. 114-119
  5. Морозов А.И. Введение в плазмодинамику. М.: Физматлит, 2006. 576 с
  6. Larsson T., Blom H.-O., Neder C., and Berg S. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1988. Vol. 6. N 3. P. 1832-1836
  7. Berg S., Blom H.-O., Larsson T., and Neder C. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1987. Vol. 5. N2. P. 202-207
  8. Владимиров В.В., Горшков В.Н., Мотрич В.А., Панченко О.А., Стеценко Б.В., Скрипник Е.Ф. // ЖТФ. 1994. Т. 64. Вып. 5. С. 91-102
  9. Pearse R.W.B., Gaydon A.G. The identification of molecular spectra. London: Halsted Press Book, 1976. 407 p
  10. Зайдель А.Н., Прокофьеф В.К., Райский С.М., Славный В.А., Шрейдер Е.Я. Таблицы спектральных линий. М.: Наука, 1969. 784 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.