ЖТФ, 2005, том 75, выпуск 10

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Возможности реконструкции образа при сканировании решеткой фокусов атомных линз от электронного пучка

А.Г.Резикян, В.В.Смирнов

Санкт-Петербургский государственный университет
Научно-исследовательский институт физики им. В.А. Фока,
198504 Санкт-Петербург, Россия
e-mail: aram\_rn@mail.ru

(Поступило в Редакцию 11 февраля 2005 г.)

При использовании рядов атомов в слое кристалла в качестве фокусирующих элементов для фокусировки пучка от электронного микроскопа на выходе из кристалла получается распределение интенсивности, представляющее собой решетку тонких пиков диаметром порядка 0.03 и 0.04 nm на расстоянии первой фурье-плоскости. Приведены результаты моделирования схемы микроскопии со сканированием образца такой решетки, при котором из детектируемого сигнала восстанавливается функция прохождения образца. Качество восстановления зависит от вида и величины искажений, обусловленных различными факторами. Некоторые из них были промоделированы, а именно: случайный шум, который вносится в регистрируемый сигнал в ходе эксперимента, и неточности знаний о падающей на образец волне, связанные с неточностью знаний о ширине первичного электронного пучка, падающего на фокусирующий кристалл. Выявлены диапазоны величин искажений позволяющих с допустимым качеством визуализировать образец.

 PDF версия (178Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2005, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster