Возможности реконструкции образа при сканировании решеткой фокусов атомных линз от электронного пучка
Резикян А.Г.1, Смирнов В.В.1
1Санкт-Петербургский государственный университет Научно-исследовательский институт физики им. В.А. Фока, Санкт-Петербург, Россия
Email: aram_rn@mail.ru
Поступила в редакцию: 11 февраля 2005 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2005 г.
При использовании рядов атомов в слое кристалла в качестве фокусирующих элементов для фокусировки пучка от электронного микроскопа на выходе из кристалла получается распределение интенсивности, представляющее собой решетку тонких пиков диаметром порядка 0.03 и 0.04 nm на расстоянии первой фурье-плоскости. Приведены результаты моделирования схемы микроскопии со сканированием образца такой решетки, при котором из детектируемого сигнала восстанавливается функция прохождения образца. Качество восстановления зависит от вида и величины искажений, обусловленных различными факторами. Некоторые из них были промоделированы, а именно: случайный шум, который вносится в регистрируемый сигнал в ходе эксперимента, и неточности знаний о падающей на образец волне, связанные с неточностью знаний о ширине первичного электронного пучка, падающего на фокусирующий кристалл. Выявлены диапазоны величин искажений позволяющих с допустимым качеством визуализировать образец.
- Smironov Valery V. // J. Phys. D. 1998. Vol. 31. N 13. P. 1548--1555
- Cowley J.M. // Phys. Rev. Lett. 2000. Vol. 84. N 16. P. 3618--3621
- Smirnov V.V., Cowley J.M. // Phys. Rev. B. 2002. Vol. 65. N 6. P. 064 109(9)
- Cowley J.M., Hudis J.B. // Microscopy \& Microanalysis. 2000. N 6. P. 429--436
- Dunin-Borkowski R.E., Cowley J.M. // Acta Cryst. 1999. Vol. A55. P. 119--126
- Cowley J.M., Spence J.C.H., Smirnov Valery V. // Ultramicroscopy. 1997. Vo. 68. N 2. P. 135--148
- Смирнов В.В. // ЖТФ. 2001. Т. 71. Вып. 7. С. 92--97
- Mityureva A.A., Smirnov V.V., Vorobiev O.A. // J. Phys. D. 2001. Vol. 34. N 13. P. L65--L69
- Смирнов В.В., Воробьев О.А., Митюрева А.А., Примагина Т.Е. // Вестник СПбГУ. Сер. 4. 2003. Вып. 3 (N 20). С. 23--36
- Смирнов В.В., Воробьев О.А., Митюрева А.А., Примагниа Т.Е. // Изв. вузов. Электроника. 2003. N 2. С. 3--7
- Sanchez Michael, Cowley J.M. // Ultramicroscopy. 1998. Vol. 72. P. 214--222
- Cowley J.M., Dunin-Borkowski R.E., Hayward Michele. // Ultramicroscopy. 1998. Vol. 72. P. 223--232
- Cowley J.M., Ooi N., Dunin-Borkowski R.E. // Actae Cryst. 1999. Vol. A55. P. 533--542
- Cowley J.M. // Ultramicroscopy. 2000. Vol. 81. N 2. P. 47--55
- Van Dyck D. // Advances in Electronics and Electron Physics. Orlando, 1985. Vol. 65. P. 295--355
- Ландау Л.Д., Лившиц Е.М. Квантовая механика. Нерелятивистская теория. Т. 3. М.: Наука, 1989. С. 809
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук