"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Пленки легированного галлием оксида цинка, нанесенные с использованием несбалансированной магнетронной распылительной системы
Захаров А.Н.1, Оскомов К.В.1, Работкин С.В.1, Соловьев А.А.1, Сочугов Н.С.1
1Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия
Email: zare17@yandex.ru
Поступила в редакцию: 1 апреля 2009 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2010 г.

Приведены результаты экспериментов по нанесению пленок легированного галлием оксида цинка при помощи несбалансированной магнетронной распылительной системы. Напыление пленок проводилось с использованием распыления на постоянном токе проводящей керамической мишени в атмосфере аргона. Температура подложек составляла 150oC. Морфология полученных пленок исследовалась методами растровой электронной и атомно-силовой микроскопии. Показано, что с увеличением степени несбалансированности магнетрона улучшаются электрофизические свойства пленок, получаемые на оси системы. При этом распределение удельного сопротивления покрытия на поверхности подложки становится более равномерным.
  • Hong R.J., Jiang X., Szyszka B. et al. // J. of Crystal Growth. 2003. Vol. 253. P. 117--128
  • Minami T. // MRS Bull. 2000. Vol. 25. P. 38
  • Minami T. // Semicond. Sci. Technol. 2002. Vol. 20. P. S35
  • Tominaga K., Yuasa T., Kume M., and Tada O. // Jpn. J. Appl. Phys. 1985. Vol. 24. P. 944--949
  • Minami T., Miyata T., Yamamoto T., Toda H. // J. Vac. Sci. Technol. 2000. A 18. P. 1584
  • Minami T., Ohtani Y., Miyata T., and Kuboi T. // J. Vac. Sci. Technol. 2007. A 25. P. 1172
  • Smith S. // Int. Mater. Rev. 1990. Vol. 35. N 2. P. 61
  • Petrov I., Abibi F., Greene J.E. et al. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1992. Vol. 10. P. 3283--3287
  • Ivanov I., Kazansky P., Hultman L. et. al. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1994. Vol. 12. P. 314--320
  • Соловьев А.А., Сочугов Н.С., Оскомов К.В., Работкин С.В. // Физика плазмы. 2009. Т. 35. N 4. C. 1--10
  • Field D.J., Dew S.K., Burrell R.E. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2002. Vol. 20. P. 2032--2041
  • Chang J.F., Hon M.H. // Thin Solid Films. 2001. Vol. 386. P. 79--86
  • Window B., Harding G.L. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1990. Vol. 8. P. 1277--1282
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.