Вышедшие номера
Эмиссионные характеристики и электронные кинетические коэффициенты плазмы поперечного объемного разряда в смеси тяжелых инертных газов с молекулами хлора
Шуаибов А.К., Чигинь В.И., Шимон Л.Л., Шевера И.В., Горун П.П., Обуховский Р.О.
Поступила в редакцию: 23 апреля 2009 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2010 г.

Приводятся результаты исследования излучения полос монохлоридов аргона, криптона, ксенона и молекул хлора из плазмы поперечного объемного разряда на смеси Ar-Kr-Xe-Cl2. Представлены результаты оптимизации рабочей смеси импульсного источника излучения в зависимости от давления и парциоального состава рабочей смеси и параметров системы возбуждения. Численно решено кинетическое уравнение Больцмана для функции распределения электронов по энергии, на основании которого получены транспортные характеристики электронов плазмы и удельные потери мощности разряда при разных значениях приведенной напряженности электрического поля. Моделирование параметров плазмы выполнено для четверной смеси, наиболее оптимальной для работы многоволнового источника УФ-ВУФ-излучения. Проведен качественный анализ наиболее важных электронных процессов в многокомпонентной плазме, которые определяют механизмы совместного образования монохлоридов аргона, криптона и криптона в поперечном разряде.