"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Чувствительный элемент датчика давления на основе пленок Cr и Cu или Fe
Пазуха И.М.1, Проценко И.Е.1
1Сумский государственный университет, Сумы, Украина
Email: protsenko@aph.sumdu.edu.ua
Поступила в редакцию: 30 июня 2009 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2010 г.

Представлен чувствительный элемент --- датчик давления, который формируется на основе пленочных систем Fe/Cr и Cu/Cr. Проанализированы вопрос о взаимной диффузии и фазообразовании, исследована проблема стабильности интерфейсов.
  • Кагадей В.А., Нефедцев Е.В., Проскуровский В.И. и др. // Письма в ЖТФ. 2003. Т. 29. Вып. 21. С. 40--47
  • Treutler C.P.O. // Sens. Actuators A. 2001. Vol. 91. P. 2--6
  • Кириченко Д.Е., Паволоцкий А.Б., Прохорова И.Г. и др. // ЖТФ. 1999. Т. 69. Вып. 7. С. 112
  • Belavic D., Hrovat M., Pavlin M. // J. Europ. Cer. Soc. 2001. Vol. 21. N 10--11. P. 1989--1992
  • Chugn G.-S. // Sens. Actuat. A. 2007. Vol. 135. P. 355--359
  • Amor Ben A., Budde T., Gatzen H.H. // Sens. Actuat. A. 2006. Vol. 126. P. 41--44
  • Kai Wah Yeung, Chung Wo Ong // Sens. Actuat. A. 2007. Vol. 137. P. 1--5
  • Schulter G., Schmitt M., Goettel D. et al. // Sens. Actuat. A. 2006. Vol. 126. P. 287--291
  • Chang S.-P., Allen M.G. // Sens. Actuat. A. 2004. Vol. 116. P. 195--204
  • Shirinov A.V., Schomburg W.K. // Sens. Actuat. A. 2008. Vol. 142. P. 48--55
  • Teng Lin, Yang Bang Chao, Du Xiao Song et al. // Sens. Actuat. A. 2005. Vol. 118. P. 222--225
  • Holly V., Pietsh V., Baumbach T. Hihg-Resolution X-ray scattering from thin films and multilayers. Heidenberg: HPC, 1999. 149 p
  • Zabila E.O., Protsenko I.Yu. // Ukr. J. Phys. Vol. 50. N 7. P. 727--736
  • Диаграммы состояния двойных металлических систем. Т. 2 / Под ред. Н.П. Лякишева. М.: Машиностроение, 1996. 1022 с
  • Бибык В.В., Однодворец Л.В., Шпетный И.А. // Вестн. СумГУ. Сер.: "Физика, математика, механика". 2006. N 9(93). С. 91--95
  • Великодный Д.В., Гричановская Т.М., Однодворец Л.В. и др. // Вестн. СумГУ. Сер.: "Физика, математика, механика". 2007. N 1. С. 5--51
  • Великодный Д.В., Проценко С.И., Проценко И.Е. // ФИП. 2008. Т. 6. N 1--2. С. 37--42
  • Kundu S. // Nucl. Instr. Meth. Phys. Rev. B. 2006. Vol. 242. P. 542--545
  • Гарифуллин И.А., Гарифьянов Н.Н., Салихов Р.И. // Изв. РАН. Сер. физ. 2007. Т. 71. N 2. С. 280--282
  • Marszalek M., Tokman V., Protsenko S. et al. // Vacuum. 2008. N 10. P. 1051--1056
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.