"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Зондовые исследования лазерного эрозионного факела при абляции кремния в вакууме
Хайдуков Е.В.1, Новодворский О.А.1, Лотин А.А.1, Рочева В.В.1, Храмова О.Д.1, Панченко В.Я.1
1Институт проблем лазерных и информационных технологий РАН, Шатура, Россия
Email: khaydukov@mail.ru
Поступила в редакцию: 28 мая 2009 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2010 г.

Методом зонда Ленгмюра исследовался эрозионный факел, образующийся при абляции кремния излучением твердотельного лазера (lambda=1.06 mum). Получены времяпролетные кривые ионных токов на зонд для плазменного пучка, образованного пересекающимися факелами от двух мишеней, и для эрозионного факела от одной мишени кремния. Исследования проведены для расстояний зонд-мишень в интервале 40-157 mm. Полученные времяпролетные кривые ионов эрозионного факела представляют собой сумму одномерных распределений Максвелла по скоростям для четырех групп ионов. Установлено, что в плазменном пучке, образованном пересекающимися факелами от двух мишеней, присутствуют не все группы ионов исходных факелов.
  • Bolduc M., Awo-Affouda C., Stollenwerk A. et al. // Phys. Rev. B. 2005. Vol. 71. P. 033 302-033 305
  • Yasuda S., Chikyow T., Inoue S., Matsuki N., Miyazaki K., Nishio S., Kakihana M., Koinuma H. // J. Appl. Phys. A. 1999. Vol. 69. P. S925-S927
  • Панченко В.Я., Новодворский О.А., Голубев В.С. // Наука и технологии в промышленности. 2006. N 4. Ч. 1. С. 39-51
  • Хайдуков Е.В., Лотин А.А., Мельников Д.Н., Новодворский О.А., Панченко В.Я. // Тр. IX Межвуз. школы молодых специалистов "Концентрированные потоки энергии в космической технике, электронике, экологии и медицине". М.: НИИЯФ МГУ, 2008. С. 127-131
  • Masuda A., Matsuda K., Usui S., Minamikawa T., Shimizu T., Morimoto A., Yonezawa Y. // Mater. Sci. Eng. B. 1996. Vol. 41. P. 161-165
  • Хайдуков Е.В., Лотин А.А., Новодворский О.А., Панченко В.Я., Рочева В.В. // Сб. докл. науч.-технич. секций Междунар. форума по нанотехнологиям. М., 2008. Т. 1. С. 771-772
  • Gorbunov A., Tselev A., Pompe W. // Proc. SPIE. 1999. Vol. 3688. P. 351-358
  • Saenger K.L. // J. Appl. Phys. 1991. Vol. 70. P. 5629-5635
  • Eason R. Pulsed laser deposition of thin films: Applications-LED growth of functional materials. Hoboken. NY: Wiley-Interscience, 2007. 682 p
  • Новодворский О.А., Филиппова Е.О., Храмова О.Д., Шевелев А.К., Венцель К., Барта И. // Квант. электрон. 2001. Т. 31. N 2. С. 159-163
  • Демидов В.И., Колобков Н.В., Кудрявцев А.А. Зондовые методы исследования низкотемпературной плазмы. М.: Энергоатомиздат, 1996. 240 с
  • Франк-Каменецкий Д.А. Лекции по физике плазмы. Долгопрудный: Изд-во "Интеллект", 2008. 280 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.