Вышедшие номера
Стимулирование вторичной отрицательной ионной эмиссии имплантацией ионов щелочных металлов в поверхностный слой твердого тела и последующего его нагрева
Алиев А.А.1, Исаханов З.А.1, Мухтаров З.Э.1, Рузибаева М.К.1
1Институт электроники им. У.А. Арифова АН Республики Узбекистан, Ташкент, Республика Узбекистан
Email: isakhanov@aie.uz
Поступила в редакцию: 6 февраля 2007 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2009 г.

Предложен новый метод стимулирования вторичной отрицательной ионной эмиссии, основанный на имплантации ионов щелочных металлов в поверхностный слой твердого тела и последующем его нагреве при температуре, обеспечивающей оптимальное покрытие поверхности атомами-активаторами (около 0.5 монослоя), щелочными атомами. Показано, что путем подбора дозы имплантаци щелочных ионов (1018-1019 cm-3) и температуры нагрева поверхности исследуемого образца (500-900oC) можно достичь такой степени возобновляемого покрытия поверхности атомами-активаторами, при котором ее работа выхода становится самой минимальной: evarphi=1.9 eV - для молибдена и 2.1 eV - для меди. Установлено, что при таких подобранных величинах дозы имплантации (облучения) и температуры нагрева образца можно за счет диффузии атомов цезия из объема на поверхность достичь такой степени покрытия поверхности, которая сохраняется за время непрерывного распыления поверхности пучком ионов цезия.
  1. Бериш Р. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. М.: Мир, 1984
  2. Krohn V.E.J. // Appl. Phys. 1962. Vol. 33. N 12. P. 3523
  3. Horilg G., Mokker P., Moller Z. // Physik. 1968. Bd 210. S. 213
  4. Muller M., Horlig G. // IEPE. Trans. Nucl. Set. 1069. Vol. 10. N 3
  5. Абдуллаева М.К., Аюханов А.Х. // Изв. АН СССР. Сер. физ. 1971. Т. 3. С. 404
  6. Черепин В.Т. Ионный зонд. Киев: Наук. думка, 1976
  7. Попов В.Ф. Автореферат докт. дисс. Л., 1991
  8. А.С. N 1374924 от 15.10.1987. Способ определения минимальной работы выхода металло-пленочной системы / А.А. Алиев, Н.Н. Флянц
  9. Алиев А.А., Махмудов О.А., Флянц Н.Н. Патент Узбекистана N IDP 4416 от 20.03.1996
  10. Aliev A.A., Makhmudov O.A. // Vacuum. 1998. Vol. 51. N 3
  11. Алиев А.А., Хакимов А. Патент Узбекистана N 4600 от 13.06.1997

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.