Вышедшие номера
Взаимодействие атомов железа с поверхностью кремния, покрытого слоем естественного окисла
Гомоюнова М.В.1, Пронин И.И.1, Петров В.Н.1, Титков А.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: Marina.Gomoyunova@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 12 декабря 2008 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2009 г.

Методом фотоэлектронной спектроскопии высокого разрешения с использованием синхротронного излучения, а также методом атомно-силовой микроскопии изучен процесс твердофазной эпитаксии силицида железа на поверхности Si(111), покрытой слоем естественного окисла. Доза напыления железа изменялась в диапазоне до 1 nm, а температура отжига - до 500oC. Показано, что при комнатной температуре слой естественного окисла непроницаем для атомов Fe, и на поверхности образца растет пленка железа. Повышение температуры до ~100oC приводит к изменению морфологии пленки, увеличивая ее несплошность, а затем (при ~250oC) к взаимной диффузии атомов Fe и Si сквозь окисный слой и их твердофазной реакции. Результатом этого процесса является формирование стабильного моносилицида железа varepsilon-FeSi. PACS: 68.37.-d, 79.60.-i