Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2025
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Сечения торможения ионов азота с энергией 50-230 keV в кремнии, измеренные методом обратного рассеяния ионов
Афросимов В.В.1, Денисов Д.В.1, Ильин Р.Н.1, Сахаров В.И.1, Серенков И.Т.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия 
Email: r.ilin@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 3 сентября 2008 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2009 г.
С целью развития метода диагностики тяжелых примесей в пленках нанометровых толщин методом обратного рассеяния тяжелых ионов (ОРТИ) измерена зависимость полного сечения торможения sigmaS(E) ионов азота с энергией 50-230 keV в кремнии. Полученная зависимость sigmaS(E) при энергии ионов ниже 150 keV занимает промежуточное положение между зависимостями, приводимыми в базах данных SRIM и MSTAR, а при более высоких - близка к первой. Оценки влияния неупругих процессов на определяемую величину сечения торможения показали, что для ионов азота влиянием этих процессов при исследовании тяжелых примесей в пленках методом ОРТИ можно пренебречь. PACS: 61.85.+p, 79.20.Rf, 82.80.Yc
- Huttner D., Gunter U., Meyer D., Reiner D., Linker G. // Appl. Phys. Lett. 1994. Vol. 65. P. 2863
- Афросимов В.В., Дзюба Г.О., Ильин Р.Н., Панов М.Н., Сахаров В.И., Серенков И.Т., Ганза Е.А. // ЖТФ. 1996. Т. 66. Вып. 12. С. 76
- Doule B.L., Knapp J.A., Buller D.L. // Nucl. Instr. Meth. 1989. Vol. B 42. P. 295
- Braunstein G., Duffy M., Maina S., Tonner B., Banks J.C. // Nucl. Instr. Meth. 2004. Vol. B 219--220. P. 358
- Денисов Д.В., Серенков И.Т., Сахаров В.И., Цирлин Г.Э., Устинов В.М. // ФТТ. 2003. Т. 45. Вып. 11. С. 2090
- Paul H., Schinner A. // Nucl. Instr. Meth. 2003. Vol. B 209. P. 252
- Ziegler J.F. // Nucl. Instr. Meth. 2004. Vol. B 219--220. P. 1027
- Zeigler J.F. <http://www.srim.org/>
- Zeigler J.F., Biersack J., Littmark U. The Stopping and Ranges of Ions in Matter. Oxford: Pergamon Press, 1985
- Paul H., Schinner A. // At. Data Nucl. Data Tables. 2003. Vol. 85. P. 377
- Paul H., Schinner A. // Nucl. Instr. Meth. 2001. Vol. B 179. P. 299
- Paul H., Schinner A. // Nucl. Instr. Meth. 2002. Vol. B 195. P. 166
- Paul H. <http://www.exphys.uni-linz.ac.at/stopping/>
- Bauer P. // Nucl. Instr. Meth. 1976. Vol. B 27. P. 301
- Афросимов В.В., Ильин Р.Н., Карманенко С.Ф., Сахаров В.И., Серенков И.Т. // ФТТ. 2003. Т. 45. Вып. 11. С. 2030
- Bauer P., Semraa D., Mertens P. // Nucl. Instr. Meth. 1985. Vol. B 12. P. 56
- Lennard W.N., Geissel H. // Nucl. Instr. Meth. 1987. Vol. B 27. P. 338
- Niemann D., Ronac G., Kalbitzer S. // Nucl. Instr. Meth. 1990. Vol. B 118. P. 11
- Sigmund P., Winterbon K.B. // Nucl. Instr. Meth. 1974. Vol. B 119. P. 541
- Afrosimov V.V., Il'in R.N., Karmanenko S.F., Malkov A.A., Sakharov V.I., Serenkov I.T. // Thin Solid Films. 2005. Vol. 492. P. 146
- Афросимов В.В., Ильин Р.Н., Карманенко С.Ф., Сахаров В.И., Семенов А.А., Серенков И.Т., Яновский Д.В. // ФТТ. 1999. Т. 41. Вып. 4. С. 588
- Janni J.F. // At. Data Nucl. Data Tables. 1982. Vol. 27. P. 341
- Yang Q., O Connor D.J. // Nucl. Instr. Meth. 1991. Vol. B 61. P. 149
- Grahmann H., Kalbitzer S. // Nucl. Instr. Meth. 1976. Vol. 132. P. 119
- Kalbitzer S., Oetzmann H., Grahmann H., Feuerstein A. // Z. Phys. A. 1976. Bd 278. S. 223
- Santry D.C., Werner R.D. // Nucl. Instr. Meth. 1991. Vol. B 53. P. 7
- Semrad D., Bauer P. // Nucl. Instr. Meth. 1985. Vol. B 12. P. 24
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
