"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Проявление селективных процессов при формировании слоев алюминия вблизи фазового равновесия в системе плазма-конденсат
Перекрестов В.И.1, Корнющенко А.С.1, Косминская Ю.А.1
1Сумский государственный университет, Сумы, Украина
Email: perv@phe.sumdu.edu.ua
Поступила в редакцию: 25 сентября 2007 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2008 г.

Изучены механизмы порообразования в конденсатах алюминия при использовании принципиально нового технологического подхода, основанного на применении самоорганизованных распылительных систем. Установлено, что основные технологические параметры порообразования определяются близостью к фазовому равновесию в системе плазма-конденсат и преобладающим вкладом в поатомную сборку конденсата структурной или полевой селективностей. PACS: 68.55.-a, 81.15.Cd, 81.07.Bc
  • Апель П.Ю., Березкин В.В., Васильев А.Б. и др. // Мембраны. 2006. Т. 3. Вып. 31. С. 45--54
  • Малышевский В.А., Фармаковский Б.В. // Сб. докл. Харьковской нанотехнологической ассамблеи. Харьков: ИПП "Контраст", 2007. С. 88
  • Чернов А.А., Гиваргизов Е.И., Багдасаров Х.С. и др. Современная кристаллография. Образование кристаллов. М.: Наука, 1980. Т. 3. 408 с
  • Технология тонких пленок / Под ред. Л. Майселла, Р. Гленга. М.: Сов. радио, 1977. Т. 1. 662 с
  • Палатник Л.В., Фукс М.Я., Косевич В.М. Механизм образования и субструктура конденсированных пленок. М.: Наука, 1972. 318 с
  • Кукушкин С.А., Осипов А.В. // УФН. 1998. Т. 168. Вып. 10. С. 1083--1116
  • Перекрестов В.И., Корнющенко А.С., Косминская Ю.А. // Письма в ЖТФ. 2006. Т. 32. Вып. 20. С. 1--6
  • Перекрестов В.И. // Письма в ЖТФ. 2005. Т. 31. Вып. 19. С. 41--46
  • Перекрестов В.И., Косминская Ю.А. // Письма в ЖЭТФ. 2003. Т. 78. Вып. 4. С. 258--264
  • Бакай А.С., Стрельницкий В.Е. Структура и физические свойства углеродных конденсатов, полученные при осаждении потоков быстрых частиц. М.: ЦНИИатоминформ, 1984. 87 с
  • Хирс Дж.П., Хруска С.Дж., Паунд Г.М. // Монокристаллические пленки. М.: Мир, 1966. С. 15
  • Перекрестов В.И., Кравченко С.Н. // Приборы и техника эксперимента. 2002. Т. 3. С. 123--126
  • Жиглинский А.Г., Кучинский В.В. Массоперенос при взаимодействии плазмы с поверхностью. М.: Энергоатомиздат, 1991. 206 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.