Фотостимулированная релаксация внутренних механических напряжений в эпитаксиальных КНС-структурах
Джибути З.В.1, Долидзе Н.Д.1, Эристави Г.Л.1
1Тбилисский государственный университет им. Ив. Джавахишвили, Тбилиси, Грузия
Email: nugo42@mail.ru
Поступила в редакцию: 18 октября 2007 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2008 г.
Исследована природа и оценены величины внутренних механических напряжений в тонких эпитаксиальных пленках КНС-структур ("кремний на сапфире"). Показано, что внутренние механические напряжения величиной ~109 Pa имеют характер сжатия. Исследовано влияние импульсного лазерного и лампового отжигов на процессы релаксации внутренних механических напряжений, показано, что при определенных режимах отжига релаксация может достигнуть 90%. Предложен электронный механизм отжига структурных дефектов, основанный на изменении квантового состояния электронной подсистемы кристалла при импульсном фотонном отжиге. PACS: 61.72.-y, 78.20.-e, 61.80.B
- Генцарь П.А. // ФТП. 2006. Т. 40. Вып. 9. С. 1051
- Светлов С.П., Чалков В.Ю., Шенгуров В.Г. // ФТТ. 2004. Т. 46. Вып. 1. С. 15
- Джибути З.В., Долидзе Н.Д., Цеквава Б.Е., Эристави Г.Л. // Письма в ЖТФ. 2003. Т. 29. Вып. 13. С. 26
- Беренштейн Г.В., Дьяченко А.М. // ФТП. 1987. Т. 21. Вып. 1. С. 164
- Kobayashi Yutaka, Suzuki Takaya and Tamura Masao // Jpn. J. of Appl. Phys. 1981. Vol. 20. N 4. P. 1249
- Зи С. Физика полупроводниковых приборов. М.: Мир, 1984. Т. 1. 455 c. Sze S.M. Physics of Semiconductor Devices. A Wiley-Interscience Publication. N.Y.; Chichester, Brisbane, Toronto, Singapure. John Wiley \& Sons, 1981
- Копаев В.В., Копаев Ю.В., Молотков С.Н. // Микроэлектроника. 1983. Т. 12. Вып. 6. С. 499
- Гвердцители И.Г., Герасимов А., Джибути З.В., Пхакадзе М.Г. // Поверхность (физика, химия, механика). 1985. Вып. 11. С. 132
- Копаев Ю.В., Меняйленко В.В., Молотков С.Н. // ФТТ. 1985. Т. 27. Вып. 11. С. 3288
- Dolidze N.D., Jibuti Z.V., Mordkovich V.N., Tsekvava B.E. // GEN. 2005. N 4. P. 84
- Авсаркисов С.А., Джибути З.В., Долидзе Н.Д., Цеквава Б.Е. // Письма в ЖТФ. 2006. Т. 32. Вып. 6. С. 55
- Джибути З.В., Долидзе Н.Д., Нарсия Г.Ш., Эристави Г.Л. // Письма в ЖТФ. 1997. Т. 23. Вып. 19. С. 26
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук