"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Получение тонких пленок высокотемпературного сверхпроводника Y-Ba-Cu-O для высокочастотных применений в упрощенной магнетронной системе напыления
Мастеров Д.В.1, Павлов С.А.1, Парафин А.Е.1, Дроздов Ю.Н.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: SVG@imp.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 9 января 2007 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2007 г.

Физико-химические свойства высокотемпературного сверхпроводника YBa2Cu3O7-delta таковы, что не существует стандартных конфигураций магнетронных распылительных систем и режимов роста пленок, применение которых гарантировало бы высокий и воспроизводимый результат. Представлена простая и гибкая в эксплуатации магнетронная система напыления, позволяющая получать пленки высокого качества: критическая температура 90 K, плотность критического тока 4 MA/cm2 и поверхностное сопротивление =<q0.5 mOmega на частоте 10 GHz при температуре 77 K. Качество пленок подтверждается примером их успешного применения в высокочастотном контуре, имеющем величину собственной добротности 58 000 на частоте 70 MHz при температуре 77 K, что выше аналогичных результатов различных групп. PACS: 74.78.Bz, 85.40.Sz
  • Simon R.W., Hammond R.B., Berkowits S.J. et al. // Proc. IEEE. 2004. Vol. 92. N 10. P. 1585
  • Scanlan R.M., Malozemoff A.P., Larbalester D.C. // Proc. IEEE. 2004. Vol. 92. N 10. P. 1639
  • Villard C., Peroz C., Guinand B., et al. // IEEE Trans. on Appl. Superconductivity. Vol. 15. N 1. P. 11
  • Сверхпроводники для электроэнергетики. Инф. бюл. 2006. Т. 3. Вып. 3. 10 с
  • Kleiner R., Koelle D., Ludwig F. et al. // Proc. IEEE. 2004. Vol. 92. N 10. P. 1534
  • Климонский С.О. // Сверхпроводимость: исследования и разработка. 1995. N 5--6. С. 116
  • Данилин Б.С. // Обзоры по высокотемпературной сверхпроводимости. 1992. Вып. 4 (8). С. 101
  • Rauch W., Behner H., Gieres G. et al. // Physica C. 1992. Vol. 198. P. 389
  • Rao R.A., Gan Q., Eom C.B. et al. // Appl. Phys. Lett. 1996. Vol. 69. N 25. P. 3911
  • Moritakis E., Anagnostou M., Pissas M. et al. // Supercond. Sci. Technol. 2000. Vol. 13. P. 1441
  • Iavarone M., Andreone A., Orgiani P. et al. // Supercond. Sci. Technol. 1998. Vol. 11. P. 686
  • Lin R.J., Chen L.J. // Appl. Phys. Lett. 1993. Vol. 62. N 1. P. 105
  • Знаменский А.Г., Марченко В.А. // ЖТФ. 1998. Т. 68. Вып. 7. С. 24
  • Востоков Н.В., Гапонов С.В., Грибков Б.А. и др. // ФТТ. 2003. Т. 45. Вып. 11. С. 1928
  • Taber R.C. // Rev. Sci. Instr. 1990. Vol. 61. N 8. P. 2200
  • Cukauskas E.J., Allen L.H., Sherrill G.K. et al. // J. Appl. Phys. 1993. Vol. 74. N 11. P. 6780
  • Воробьев А.К., Гапонов С.В., Дроздов М.Н. и др. // ФТТ. 2000. Т. 42. Вып. 4. С. 589
  • Вендик О.Г., Попов А.Ю. // ЖТФ. 1993. Т. 63. Вып. 7. С. 1
  • Gao E., Sahba S., Xu H. et al. // IEEE Trans. on Appl. Supercond. 1999. Vol. 9. N 2. P. 3066
  • Xu H., Gao E., Ma Q.Y. // IEEE Trans. on Appl. Supercond. 2001. Vol. 11. N 1. P. 353
  • Withers R.S., Liang G.-C., Cole B.F. et al. // IEEE Trans. on Appl. Supercond. 1993. Vol. 3. N 1. P. 2450
  • Bracanovic D., Esmail A.A., Penn S.J. et al. // IEEE Trans. on Appl. Supercond. 2001. Vol. 11. N 1. P. 2422
  • Ginefri J.-K., Darrasse L., Crozat P. et al. // IEEE Trans. on Appl. Supercond. 1999. Vol. 9. N 4. P. 4695
  • Мастеров Д.В., Павлов С.А., Парафин А.Е. // Мат. конф. ФПС-06. Звенигород, 9--13 октября 2006. С. 280
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.